Bibliographic Details
| Title: |
Элементный состав структуры Cu/Al, сформированной динамическим атомным перемешиванием |
| Publisher Information: |
2011. |
| Publication Year: |
2011 |
| Subject Terms: |
осаждение покрытий, наноструктуры, динамическое атомное перемешивание, ионно-лучевое модифицирование, модифицирование поверхности материалов, резерфордовское обратное рассеяние |
| Description: |
В данной работе с помощью резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием был проведен анализ элементного состава структур Cu/AI, полученных осаждение меди на алюминиевую подложку методом динамического атомного перемешивания. Проведенное исследование позволило установить, что создаваемые структуры содержат ~10 ат.% меди, ~1 ат.% кислорода и - 0,3 ат.% аргона. При этом наблюдается проникновение атомов алюминия в пленку меди вследствие атомного перемешивания, проникновение атомов меди и кислорода в алюминий вследствие радиационно-стимулированной диффузии, а также распыление пленки меди. |
| Document Type: |
Article |
| File Description: |
application/pdf |
| Access URL: |
https://openrepository.ru/article?id=35478 |
| Accession Number: |
edsair.httpsopenrep..4289585cbcdfc39e7b5916a570bb08dd |
| Database: |
OpenAIRE |