Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
| Τίτλος: |
Combined Stabilization Method for Sensitive Element of Compensation Acceleration Transducer With Optical Reading |
| Πηγή: |
Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. |
| Στοιχεία εκδότη: |
The Publishing House "NAUCHTEHLITIZDAT", 2020. |
| Έτος έκδοσης: |
2020 |
| Θεματικοί όροι: |
стабилизация чувствительного элемента, stabilization method, оптический туннельный эффект, compensation acceleration transducer, sensitive element stabilization, microelectromechanical systems, optical tunneling effect, оптический съём, метод стабилизации, микроэлектромеханические системы, компенсационный преобразователь ускорения, optical reading |
| Περιγραφή: |
В работе предложен метод комбинированной стабилизации чувствительного элемента микроэлектромеханического компенсационного преобразователя ускорения с оптическим считыванием. Разработана структурная схема компенсационного микро-опто-электромеханического преобразователя линейных ускорений с методом комбинированной стабилизации чувствительного элемента. Предложены общий вид и алгоритм, позволяющий эффективно использовать совокупность двух разнотипных компенсационных обратных связей: электромагнитной и электростатической. Метод комбинированной стабилизации чувствительного элемента одновременно возвращает его к положению покоя и демпфирует колебания. Предложенный метод комбинированной стабилизации положения чувствительного элемента совместно с алгоритмом функционирования и многорежимным управлением позволяют: обеспечить работу преобразователя при различных видах входных ускорений, расширить диапазон измеряемых ускорений без ухудшения точностных показателей и исключить механический контакт между элементами преобразователя. Проведено моделирование, показавшее эффективность использования предложенного метода. The paper proposes combined stabilization method for sensitive element of microelectromechanical compensation acceleration transducer with optical reading. Structural diagram of compensation microoptoelectromechanical linear acceleration transducer with combined stabilization method for sensitive element has been developed. General view and algorithm that allows to effectively use a combination of two different types of compensation feedbacks: electromagnetic and electrostatic; are proposed. The combined stabilization method for sensitive element simultaneously returns it to the resting position and dampens vibrations. The proposed combined stabilization method for sensitive element position, together with the operation algorithm and multi-mode control, allows: to ensure the operation of the transducer at various types of input accelerations, to expand the range of measured accelerations without deteriorating the accuracy characteristics and exclude mechanical contact between transducer elements. Modeling has been carried out, which has shown the effectiveness of using the proposed method. |
| Τύπος εγγράφου: |
Article |
| Γλώσσα: |
Russian |
| ISSN: |
2073-0004 |
| DOI: |
10.25791/pribor.10.2020.1211 |
| Αριθμός Καταχώρησης: |
edsair.doi...........f870c48ff9eb16b7a23ce327025c16cf |
| Βάση Δεδομένων: |
OpenAIRE |