Academic Journal
Акустоэлектронные сенсоры на основе композитных СВЧ резонаторов с алмазными подложками
| Title: | Акустоэлектронные сенсоры на основе композитных СВЧ резонаторов с алмазными подложками |
|---|---|
| Source: | Сборник Трудов XXXV сессии Российского акустического общества. |
| Publisher Information: | Crossref, 2024. |
| Publication Year: | 2024 |
| Subject Terms: | акустический сенсор, синтетический алмаз, датчик давления, композитный акустический резонатор, камера высокого давления, нитрид алюминия, нитрид алюминия-скандия, объемная акустическая волна |
| Description: | В статье продемонстрировано применение сенсора толщин со структурой Me1/Al1-xScxN/Me2/(100) алмаз/Me3 при напылении тонких и сверхтонких пленок Me3: Sc, Pt, Al и Mo. Толщинная чувствительность при напылении Pt составила ± 0.5 нм. Рассмотрены особенности применения композитного СВЧ резонатора как сенсора давления в составе интегрированной измерительной системы с камерой высокого давления на алмазных наковальнях (ИИС КВДАН), к образцам из W, Si, Mo, Zr и целлюлозы. Продемонстрированы возможности ИИС к исследованиям особенностей поведения различных твердых тел при высоких давлениях, фазовых переходов под давлением и регистрации пластических деформаций в металлах. |
| Document Type: | Article Conference object |
| Language: | Russian |
| DOI: | 10.34756/geos.2023.17.38499 |
| Accession Number: | edsair.doi...........df26a6d4d3aa4cd6be24e49ddbc23b49 |
| Database: | OpenAIRE |
| DOI: | 10.34756/geos.2023.17.38499 |
|---|