Bibliographic Details
| Title: |
Синтез стекломатериала методом золь-гель для пассивации pn-перехода в кремниевых СВЧ pin-диодах: выпускная квалификационная работа магистра |
| Publisher Information: |
Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 2018. |
| Publication Year: |
2018 |
| Subject Terms: |
Защитные покрытия, Электрофорез, Полупроводники стеклообразные |
| Description: |
В данной работе описывается метод золь-гель синтеза стекломатерила, который применяется для защиты p-n-перехода в кремниевых СВЧ pin-диодах. Здесь рассмотрено устройство и применение кремниевых СВЧ pin-диодов, материалы для защиты p-n-перехода и требования к ним, сведения о золь-гель технологии в области получения стекломатериалов, а также методы нанесения защитного покрытия. Разработан технологический процесс приготовления стекломатериала и способа формирования из него защитного покрытия посредством электрофоретического осаждения с последующим оплавлением. В работе приведены результаты исследования полученного стекломатериала(химический анализ состава стекломатериала, рентгенофазовый и гранулометрический анализ стекломатериала, анализ с использованием растрового электронного микроскопа). Произведён контроль параметров остеклованных диодов до и после испытаний на термоциклирование и влагоустойчивость. |
| Document Type: |
Other literature type |
| Language: |
Russian |
| DOI: |
10.18720/spbpu/2/v18-892 |
| Accession Number: |
edsair.doi...........7f927cea74de2938b9202ba0bbb27151 |
| Database: |
OpenAIRE |