Conference
Boron phosphide grown by PECVD and its optical properties
| Title: | Boron phosphide grown by PECVD and its optical properties |
|---|---|
| Authors: | Maksimova, Alina, Uvarov, Alexander, Vyacheslavova, Ekaterina, Pozdeev, Vyacheslav, Gudovskikh, Alexander, Kirilenko, Demid, Baranov, Artem |
| Publisher Information: | St. Petersburg State Polytechnical University Journal. Physics and Mathematics, 2023. |
| Publication Year: | 2023 |
| Subject Terms: | плазмохимическое осаждение, оптическая спектроскопия, boron phosphide, PECVD, фосфид бора, plasma enhanced chemical vapor deposition, optical spectroscopy, 7. Clean energy |
| Description: | В этой статье представлено исследование роста тонких пленок фосфида бора (BP) методом плазмохимического осаждения и его оптических свойств. Тонкие пленки BP осаждались на кварцевую подложку с использованием смеси диборана (B2H6) и фосфина (PH3) с водородом в качестве прекурсоров. Оптические свойства были исследованы с помощью оптической спектроскопии, которая показала высокую оптическую прозрачность в видимой и ближней инфракрасной областях. Пленки BP имели ширину запрещенной зоны примерно 1,9 эВ, что указывает на их потенциал для использования в производстве оптоэлектронных приборов. Результаты показывают, что плазмохимическое осаждение является многообещающим методом выращивания тонких пленок BP с требуемыми оптическими свойствами. This article presents a study of the growth of boron phosphide (BP) thin films by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) and its optical properties. BP thin films were deposited on a fused silica and silicon substrates using a mixture of diborane (B2H6) and phosphine (PH3) with hydrogen as precursors. The optical properties were investigated using optical spectroscopy, which showed excellent optical transparency in the visible and near-infrared regions. The BP films exhibited a bandgap of approximately 1.9 eV, indicating its potential for use in optoelectronic applications. The results demonstrate that PECVD is a promising technique for growing BP thin films with desirable optical properties. |
| Document Type: | Conference object |
| Language: | English |
| DOI: | 10.18721/jpm.163.247 |
| Accession Number: | edsair.doi...........33d1d263fb15b7363c3423825bb4f69b |
| Database: | OpenAIRE |
| DOI: | 10.18721/jpm.163.247 |
|---|