Academic Journal
Προβολή σε EDS

Мікромеханічний поверхневий терморезисторний перетворювач лінійної швидкості середовища в каналі прямокутного перерізу

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Τίτλος: Мікромеханічний поверхневий терморезисторний перетворювач лінійної швидкості середовища в каналі прямокутного перерізу
Συγγραφείς: Lupyna, Borys Ivanovych
Συνεισφορές: ELAKPI
Πηγή: Electronics and Communications; Том 21, № 3 (2016); 17-28
Электроника и Связь; Том 21, № 3 (2016); 17-28
Електроніка та Зв'язок; Том 21, № 3 (2016); 17-28
Στοιχεία εκδότη: НТУУ «КПІ», 2016.
Έτος έκδοσης: 2016
Θεματικοί όροι: линейная скорость среды, MEMS thermal fluid velocity sensor, heat-loss anemometer, non-intrusive calorimetric sensor, калориметрический метод измерения скорости, лінійна швидкість середовища, терморезисторный первичный преобразователь, микроэлектромеханическая система, теплоизолированная структура, терморезисторний первинний перетворювач, мікроелектромеханічна система, теплоізольована структура, калориметричний метод вимірювання швидкості
Περιγραφή: An analytical model of a non-intrusive micro-electro-mechanical (MEMS) thermal sensor into a rectangular cross-section flow channel is presented and investigated. The analytical expressions for temperature distribution are obtained and numerical values are calculated for a MEMS structures included three-element thermally isolated thin film resistors at a SiO2/Si3N4 dielectric membrane. The model includes the heat exchange from the both frontal and opposite membrane sides and is applicable for gas or liquid flow velocity measurements. The sensor and channel structural design features and materials thermal properties are taken into accounts into the model. The DC heating operations are analyzed including the both constant power dissipation and constant heater temperature modes.References 23, tables 3, figures 3.
В работе выполнен анализ теплообменных процессов в поверхностном терморезисторном преобразователе линейной скорости среды, вмонтированном в стенку потокоформирующего канала прямоугольного сечения. Преобразователь спроектован по технологии микроэлектро-механических систем на кремнии. Анализ термоанемометрического и калориметрического методов измерительного преобразования линейной скорости среды касательно к мембранному преобразователю показал, что преимуществами предложенного подхода является возможность учета в модели поверхностного преобразователя его конструктивных особенностей и геометрических размеров, теплообмена с обратной стороны теплоизолированной структуры и теплофизических характеристик составляющих материалов.Библ. 23, табл. 3, рис. 3.
В роботі проведено аналіз теплообмінних процесів в поверхневому терморезисторному перетворювачі лінійної швидкості середовища, вмонтованому в стінку потокоформуючого каналу прямокутного перерізу. Перетворювач спроектовано за технологією мікроелектромеханічних систем на кремнії. Аналіз термоа-немометричного та калориметричного методів вимірювального перетворення лінійної шви-дкості середовища стосовно до мембранного перетворювача показав, що перевагами за-пропонованого підходу є можливість врахуван-ня в моделі поверхневого перетворювача його конструктивних особливостей і геометричних розмірів, теплообміну із зворотного боку теплоізольованої структури та теплофізичних характеристик складових матеріалів.Бібл. 22, табл. 3, рис. 3.
Τύπος εγγράφου: Article
Περιγραφή αρχείου: application/pdf
Γλώσσα: Ukrainian
ISSN: 1811-4512
2312-1807
Σύνδεσμος πρόσβασης: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/20129
http://elc.kpi.ua/old/article/view/81454
Rights: CC BY
Αριθμός Καταχώρησης: edsair.dedup.wf.002..b36bc5b51f896a6b9d4560f7370860ca
Βάση Δεδομένων: OpenAIRE
FullText Text:
  Availability: 0
CustomLinks:
  – Url: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_002%3A%3Ab36bc5b51f896a6b9d4560f7370860ca
    Name: EDS - OpenAIRE (ns324271)
    Category: fullText
    Text: View record at OpenAIRE
Header DbId: edsair
DbLabel: OpenAIRE
An: edsair.dedup.wf.002..b36bc5b51f896a6b9d4560f7370860ca
RelevancyScore: 787
AccessLevel: 3
PubType: Academic Journal
PubTypeId: academicJournal
PreciseRelevancyScore: 787.438598632813
IllustrationInfo
Items – Name: Title
  Label: Title
  Group: Ti
  Data: Мікромеханічний поверхневий терморезисторний перетворювач лінійної швидкості середовища в каналі прямокутного перерізу
– Name: Author
  Label: Authors
  Group: Au
  Data: <searchLink fieldCode="AR" term="%22Lupyna%2C+Borys+Ivanovych%22">Lupyna, Borys Ivanovych</searchLink>
– Name: Author
  Label: Contributors
  Group: Au
  Data: ELAKPI
– Name: TitleSource
  Label: Source
  Group: Src
  Data: Electronics and Communications; Том 21, № 3 (2016); 17-28<br />Электроника и Связь; Том 21, № 3 (2016); 17-28<br />Електроніка та Зв'язок; Том 21, № 3 (2016); 17-28
– Name: Publisher
  Label: Publisher Information
  Group: PubInfo
  Data: НТУУ «КПІ», 2016.
– Name: DatePubCY
  Label: Publication Year
  Group: Date
  Data: 2016
– Name: Subject
  Label: Subject Terms
  Group: Su
  Data: <searchLink fieldCode="DE" term="%22линейная+скорость+среды%22">линейная скорость среды</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22MEMS+thermal+fluid+velocity+sensor%22">MEMS thermal fluid velocity sensor</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22heat-loss+anemometer%22">heat-loss anemometer</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22non-intrusive+calorimetric+sensor%22">non-intrusive calorimetric sensor</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22калориметрический+метод+измерения+скорости%22">калориметрический метод измерения скорости</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22лінійна+швидкість+середовища%22">лінійна швидкість середовища</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22терморезисторный+первичный+преобразователь%22">терморезисторный первичный преобразователь</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22микроэлектромеханическая+система%22">микроэлектромеханическая система</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22теплоизолированная+структура%22">теплоизолированная структура</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22терморезисторний+первинний+перетворювач%22">терморезисторний первинний перетворювач</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22мікроелектромеханічна+система%22">мікроелектромеханічна система</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22теплоізольована+структура%22">теплоізольована структура</searchLink><br /><searchLink fieldCode="DE" term="%22калориметричний+метод+вимірювання+швидкості%22">калориметричний метод вимірювання швидкості</searchLink>
– Name: Abstract
  Label: Description
  Group: Ab
  Data: An analytical model of a non-intrusive micro-electro-mechanical (MEMS) thermal sensor into a rectangular cross-section flow channel is presented and investigated. The analytical expressions for temperature distribution are obtained and numerical values are calculated for a MEMS structures included three-element thermally isolated thin film resistors at a SiO2/Si3N4 dielectric membrane. The model includes the heat exchange from the both frontal and opposite membrane sides and is applicable for gas or liquid flow velocity measurements. The sensor and channel structural design features and materials thermal properties are taken into accounts into the model. The DC heating operations are analyzed including the both constant power dissipation and constant heater temperature modes.References 23, tables 3, figures 3.<br />В работе выполнен анализ теплообменных процессов в поверхностном терморезисторном преобразователе линейной скорости среды, вмонтированном в стенку потокоформирующего канала прямоугольного сечения. Преобразователь спроектован по технологии микроэлектро-механических систем на кремнии. Анализ термоанемометрического и калориметрического методов измерительного преобразования линейной скорости среды касательно к мембранному преобразователю показал, что преимуществами предложенного подхода является возможность учета в модели поверхностного преобразователя его конструктивных особенностей и геометрических размеров, теплообмена с обратной стороны теплоизолированной структуры и теплофизических характеристик составляющих материалов.Библ. 23, табл. 3, рис. 3.<br />В роботі проведено аналіз теплообмінних процесів в поверхневому терморезисторному перетворювачі лінійної швидкості середовища, вмонтованому в стінку потокоформуючого каналу прямокутного перерізу. Перетворювач спроектовано за технологією мікроелектромеханічних систем на кремнії. Аналіз термоа-немометричного та калориметричного методів вимірювального перетворення лінійної шви-дкості середовища стосовно до мембранного перетворювача показав, що перевагами за-пропонованого підходу є можливість врахуван-ня в моделі поверхневого перетворювача його конструктивних особливостей і геометричних розмірів, теплообміну із зворотного боку теплоізольованої структури та теплофізичних характеристик складових матеріалів.Бібл. 22, табл. 3, рис. 3.
– Name: TypeDocument
  Label: Document Type
  Group: TypDoc
  Data: Article
– Name: Format
  Label: File Description
  Group: SrcInfo
  Data: application/pdf
– Name: Language
  Label: Language
  Group: Lang
  Data: Ukrainian
– Name: ISSN
  Label: ISSN
  Group: ISSN
  Data: 1811-4512<br />2312-1807
– Name: URL
  Label: Access URL
  Group: URL
  Data: <link linkTarget="URL" linkTerm="https://ela.kpi.ua/handle/123456789/20129" linkWindow="_blank">https://ela.kpi.ua/handle/123456789/20129</link><br /><link linkTarget="URL" linkTerm="http://elc.kpi.ua/old/article/view/81454" linkWindow="_blank">http://elc.kpi.ua/old/article/view/81454</link>
– Name: Copyright
  Label: Rights
  Group: Cpyrght
  Data: CC BY
– Name: AN
  Label: Accession Number
  Group: ID
  Data: edsair.dedup.wf.002..b36bc5b51f896a6b9d4560f7370860ca
PLink https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsair&AN=edsair.dedup.wf.002..b36bc5b51f896a6b9d4560f7370860ca
RecordInfo BibRecord:
  BibEntity:
    Languages:
      – Text: Ukrainian
    Subjects:
      – SubjectFull: линейная скорость среды
        Type: general
      – SubjectFull: MEMS thermal fluid velocity sensor
        Type: general
      – SubjectFull: heat-loss anemometer
        Type: general
      – SubjectFull: non-intrusive calorimetric sensor
        Type: general
      – SubjectFull: калориметрический метод измерения скорости
        Type: general
      – SubjectFull: лінійна швидкість середовища
        Type: general
      – SubjectFull: терморезисторный первичный преобразователь
        Type: general
      – SubjectFull: микроэлектромеханическая система
        Type: general
      – SubjectFull: теплоизолированная структура
        Type: general
      – SubjectFull: терморезисторний первинний перетворювач
        Type: general
      – SubjectFull: мікроелектромеханічна система
        Type: general
      – SubjectFull: теплоізольована структура
        Type: general
      – SubjectFull: калориметричний метод вимірювання швидкості
        Type: general
    Titles:
      – TitleFull: Мікромеханічний поверхневий терморезисторний перетворювач лінійної швидкості середовища в каналі прямокутного перерізу
        Type: main
  BibRelationships:
    HasContributorRelationships:
      – PersonEntity:
          Name:
            NameFull: Lupyna, Borys Ivanovych
      – PersonEntity:
          Name:
            NameFull: ELAKPI
    IsPartOfRelationships:
      – BibEntity:
          Dates:
            – D: 01
              M: 01
              Type: published
              Y: 2016
          Identifiers:
            – Type: issn-print
              Value: 18114512
            – Type: issn-print
              Value: 23121807
            – Type: issn-locals
              Value: edsair
            – Type: issn-locals
              Value: edsairFT
          Titles:
            – TitleFull: Electronics and Communications
              Type: main
ResultId 1