Spatial Distributions of 3p54s States of Argon Atoms in RF Magnetron Sputtering Plasma with a Collisional-Radiative Model

Συγγραφείς: Azzaoui, M., Khelfaoui, F., Ballah, Z.

Πηγή: Journal of Nano- and Electronic Physics. 13:05007-1

Θεματικοί όροι: diffusion phenomena, дифузійні явища, RF magnetron sputtering, collisional-radiative model, високочастотне магнетронне розпилення, радіаційна модель зіткнень, іонізація Пеннінга, Penning ionization

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/85953

Spatial Distributions of 3p54s States of Argon Atoms in RF Magnetron Sputtering Plasma with a Collisional-Radiative Model ; Просторові розподіли станів 3p54s атомів аргону в плазмі високочастотного магнетронного розпилення з радіаційною моделлю зіткнень

Συγγραφείς: Azzaoui, M., Khelfaoui, F., Ballah, Z.

Θεματικοί όροι: радіаційна модель зіткнень, високочастотне магнетронне розпилення, іонізація Пеннінга, дифузійні явища, collisional-radiative model, RF magnetron sputtering, Penning ionization, diffusion phenomena

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/85953

Διαθεσιμότητα: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/85953