Электрохимическое осаждение легированных марганцем кремний-углеродных пленок для импедансометрических датчиков

Θεματικοί όροι: импедансометрические датчики, электрохимический импеданс датчиков, кремний-углеродные пленки, электрохимическое осаждение, нанокристаллические пленки, легирование пленок

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://elib.belstu.by/handle/123456789/49869