Evolution of structure and mechanism of thermal decomposition of C/SI multilayers ; Эволюция структуры и механизм термического разрушения многослойных композиций C/SI ; Еволюція структури і механізм термічного руйнування багатошарових композицій C/SI

Authors: Журавель, И. А., Бугаев, Е. А., Пеньков, А. В., Зубарев, Е. Н., Севрюкова, В. А., Кондратенко, В. В.

Contributors: Міністерство освіти і науки України

Source: Физическая инженерия поверхности; Том 12, № 1 (2014): Фізична інженерія поверхні; 20-30 ; Фізична інженерія поверхні; Том 12, № 1 (2014): Фізична інженерія поверхні; 20-30 ; 1999-8112 ; 1999-8074

Subject Terms: nanoscale compositions, extreme ultraviolet, multilayer optics, structural and phase transformations, layer interaction, thermostability, наноразмерные композиции, экстремальный ультрафиолет, многослойная оптика, структурнофазовые превращения, межслоевое взаимодействие, термостабильность, нанорозмірні композиції, екстремальний ультрафіолет, багатошарова оптика, стру ктурно­фазові перетворення, міжшарова взаємодія, термостабільність

File Description: application/pdf

Relation: http://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8161/7635; http://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8161

Availability: http://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8161

Эволюция структуры и механизм термического разрушения многослойных композиций C/Si

Subject Terms: термостабільність, nanoscale compositions, extreme ultraviolet, structural and phase transformations, багатошарова оптика, multilayer optics, міжшарова взаємодія, структурно-фазові перетворення, термостабильность, нанорозмірні композиції, thermostability, многослойная оптика, межслоевое взаимодействие, екстремальний ультрафіолет, layer interaction, наноразмерные композиции, экстремальный ультрафиолет, структурно-фазовые превращения

File Description: application/pdf

Access URL: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57471