Методи контролю процесу травлення технологічних шарів надвеликих інтегральних схем

Contributors: Писаренко, Леонід Дмитрович, ELAKPI

Subject Terms: трансмісійний електронний мікроскоп, transmission electron microscope, плазмохімічне травлення, plasma-chemical etching, ІМС-інтегральна мікросхема, скануючий електронний мікроскоп, хімічно-механічне полірування, scanning electron microscope, chemical-mechanical polishing, IC-integrated circuit

File Description: application/pdf

Access URL: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/65185