Интеграция экологически безопасных практик в производственный процесс СМР при производстве полупроводников ; Integration of environmentally sound practices into the manufacturing process of SMR in the production of semiconductors

Authors: Марголин, Дмитрий Григорьевич

Subject Terms: химико-механическая планаризация, CMP, полупроводники, экологически безопасные практики, рециклирование, рециркуляция воды, энергосбережение, токсичные химические реагенты, экономическая целесообразность

Relation: https://zenodo.org/records/13990572; oai:zenodo.org:13990572; https://doi.org/10.5281/zenodo.13990572

Availability: https://doi.org/10.5281/zenodo.13990572
https://zenodo.org/records/13990572

Технологические инновации в процессе CMP: обзор последних достижений и их влияния на качество продукции ; Technological innovations in the CMP process: an overview of recent developments and their impact on product quality

Authors: Марголин, Дмитрий Григорьевич

Subject Terms: химико-механическая планаризация (CMP), абразивные суспензии, наночастицы, автоматизация, микроэлектроника, технологические инновации, качество продукции, экономические аспекты, экологические аспекты

Relation: https://zenodo.org/records/13990136; oai:zenodo.org:13990136; https://doi.org/10.5281/zenodo.13990136

Availability: https://doi.org/10.5281/zenodo.13990136
https://zenodo.org/records/13990136

Интеграция экологически безопасных практик в производственный процесс СМР при производстве полупроводников

Subject Terms: полупроводники, энергосбережение, химико-механическая планаризация, экологически безопасные практики, токсичные химические реагенты, экономическая целесообразность, рециклирование, CMP, рециркуляция воды

Технологические инновации в процессе CMP: обзор последних достижений и их влияния на качество продукции

Subject Terms: наночастицы, микроэлектроника, экологические аспекты, качество продукции, автоматизация, технологические инновации, абразивные суспензии, химико-механическая планаризация (CMP), экономические аспекты

ПОЛИНОМИАЛЬНАЯ МОДЕЛЬ ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЙ ПЛАНАРИЗАЦИИ В ПРОИЗВОДСТВЕ СУБМИКРОННЫХ СБИС

Authors: Амирханов, Алексей, Гладких, Алексей, Макарчук, Владимир, Пшенников, Альберт, Шахнов, Вадим

Subject Terms: ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКАЯ ПЛАНАРИЗАЦИЯ, КРИСТАЛЛ, МЕЖСЛОЙНАЯ ИЗОЛЯЦИЯ, МНОГОУРОВНЕВАЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ, ДЛИНА ПЛАНАРИЗАЦИИ, ВЫХОД ГОДНЫХ, СБИС, ТОПОЛОГИЯ, СВЕРТКА, ПОЛИНОМ

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/polinomialnaya-model-himiko-mehanicheskoy-planarizatsii-v-proizvodstve-submikronnyh-sbis
http://cyberleninka.ru/article_covers/14301767.png

Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронных СБИС

Source: Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана. Серия «Приборостроение».

Subject Terms: 0209 industrial biotechnology, 0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering, 02 engineering and technology, ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКАЯ ПЛАНАРИЗАЦИЯ, КРИСТАЛЛ, МЕЖСЛОЙНАЯ ИЗОЛЯЦИЯ, МНОГОУРОВНЕВАЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ, ДЛИНА ПЛАНАРИЗАЦИИ, ВЫХОД ГОДНЫХ, СБИС, ТОПОЛОГИЯ, СВЕРТКА, ПОЛИНОМ

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article/n/polinomialnaya-model-himiko-mehanicheskoy-planarizatsii-v-proizvodstve-submikronnyh-sbis
http://cyberleninka.ru/article_covers/14301767.png