Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии ; Study of Strength Properties of Photoresist Films on Silicon by the Scratching Method

Συγγραφείς: Вабищевич, С. А., Вабищевич, Н. В., Бринкевич, Д. И., Просолович, В. С., Янковский, Ю. Н.

Θεματικοί όροι: Физика, Cубмикронная литография, Измерение микротвердости, метод склерометрии, фоторезист-кремний

Relation: Веснік Полацкага дзяржаўнага ўніверсітэта. Серыя C, Фундаментальныя навукі; Herald of Polotsk State University. Series C, Fundamental sciences; Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки; Серия C, Фундаментальные науки;2015. - № 12; https://elib.psu.by/handle/123456789/15438; 621.315.592: 546.28

Διαθεσιμότητα: https://elib.psu.by/handle/123456789/15438