Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr

Θεματικοί όροι: условия ионного ассистирования, ионно-ассистированное осаждение, пластины монокристаллического кремния, кремниевые пластины, металлические покрытия, резерфордовское обратное рассеяние

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602

Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr

Συγγραφείς: Барайшук, С. М., Вертель, М., Будзинский, М., Бобрович, Олег Георгиевич, Михалкович, О. М.

Θεματικοί όροι: металлические покрытия, пластины монокристаллического кремния, условия ионного ассистирования, ионно-ассистированное осаждение, резерфордовское обратное рассеяние, кремниевые пластины

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602; 538.97; 539.23; 539.25

Διαθεσιμότητα: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602