АНАЛІЗ МЕХАНІЗМІВ СТАРІННЯ МІН СЕНСОРІВ З Pd (Cu x Pd) ЗАТВОРОМ

Authors: Litovchenko, V. G., Efremov, A. A.

Source: Sensor Electronics and Microsystem Technologies; Том 1, № 1 (2004); 5-18
Сенсорная электроника и микросистемные технологии; Том 1, № 1 (2004); 5-18
Сенсорна електроніка і мікросистемні технології; Том 1, № 1 (2004); 5-18

Subject Terms: сhemical sensors, MIS –device, ageing mechanisms, catalytic Pd gate, textured CuxPd surface alloy, хімічні сенсори, МІН-пристрої, механізми старіння, каталітичний Pd електрод, текстурований CuxPd поверхневий сплав, химические сенсоры, МПД-приборы, механизмы старения, каталитический Pd электрод, текстурированый CuxPd поверхностный сплав

File Description: application/pdf

Access URL: http://semst.onu.edu.ua/article/view/111796