ВЛИЯНИЕ ТЕРМОЦИКЛИЧЕСКИХ ОБРАБОТОК НА СВОЙСТВА ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА SIO2-SI В AL-SIO2-N-SI СТРУКТУРАХ

Authors: Власов Сергей Игоревич, Кучкаров Бекзод Хошимович

Subject Terms: структуры металл-диэлектрик-полупроводник, поверхностные состояния, термоциклические обработки, скорость поверхностной генерации

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/vliyanie-termotsiklicheskih-obrabotok-na-svoystva-granitsy-razdela-sio2-si-v-al-sio2-n-si-s-strukturah
http://cyberleninka.ru/article_covers/16382521.png