Characterization of magnetron plasma using optical spectroscopy and collisional-radiative model of nitrogen

Authors: Evdokimov, Kirill Evgenievich, Konishchev, Maksim Evgenievich, Pichugin, Vladimir Fyodorovich, Sun, Z.

Subject Terms: оптическая спектроскопия, магнетронная плазма, пространственная неоднородность, характеристики, магнетронные разряды, столкновительно-излучательные процессы, газовые смеси, азот, низкотемпературная плазма

Access URL: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57752

Characterization of magnetron plasma using optical spectroscopy and collisional-radiative model of nitrogen

Authors: Evdokimov, Kirill Evgenievich, Konishchev, Maksim Evgenievich, Pichugin, Vladimir Fyodorovich, Sun, Z.

Subject Terms: магнетронная плазма, оптическая спектроскопия, азот, столкновительно-излучательные процессы, магнетронные разряды, газовые смеси, пространственная неоднородность, низкотемпературная плазма, характеристики

Relation: Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019) : 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia. — Tomsk, 2019.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57752

Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57752