Создание оптических изолированных микрорезонаторов GaP(NAs) на кремнии

Συγγραφείς: Dvoretckaia, Liliia, Mozharov, Alexey, Komarov, Sergey, Vyacheslavova, Ekaterina, Moiseev, Eduard, Fedorov, Vladimir, Mukhin, Ivan

Θεματικοί όροι: оптический микрорезонатор GaP(NAs) на кремнии, плазмохимическое травление, optical GaP(NAs) microcavity on Si, plasma etching, спектр микрофотолюминесценции, micro-photoluminescence spectrum