Формування плівок ZnO на підкладках SiC/porous-Si/Si

Συγγραφείς: Abbasova, Chichek, Бачеріков, Юрій, Охріменко, Ольга, Кідалов, Валерій Віталійович, Батурін, Володимир, Карпенко, Олександр, Дяденчук, Альона Федорівна, Коломис, Олександр, Стрельчук, Віктор, Максименко, Зоя, Пономаренко, Валентина, Kidalov, Valeriy, Diadenchuk, Alona

Θεματικοί όροι: реактивне магнетронне розпилення, поруватий Si, плівка карбіду кремнію, хімічне заміщення атомів, спектри комбінаційного розсіювання та фотолюмінесценції, reactive magnetron sputtering, porous Si, silicon carbide film, chemical substitution of atoms, Raman scattering and photoluminescence spectra

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/18007

Διαθεσιμότητα: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/18007