Сильноточное магнетронное распыление Al мишени

Συγγραφείς: Грудинин, Владислав Алексеевич, Сиделёв, Дмитрий Владимирович

Θεματικοί όροι: магнетронное распыление, сильноточное распыление, мишени, тонкопленочные покрытия, ионно-плазменные установки, теплопроводность, алюминий, плазма, осаждение

Relation: Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения : сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г. — Томск, 2018.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925

Διαθεσιμότητα: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925

Сильноточное магнетронное распыление Al мишени

Θεματικοί όροι: ионно-плазменные установки, плазма, осаждение, теплопроводность, сильноточное распыление, алюминий, магнетронное распыление, тонкопленочные покрытия, мишени

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925