Сегнетоэлектрические мембраны с DLC-покрытием в виде сосудистых пластырей: физические свойства

Authors: Рунц, А. А., Юрьев, Юрий Николаевич, Больбасов, Евгений Николаевич

Subject Terms: сегнетоэлектрические мембраны, покрытия, физические свойства, модифицированные поверхности, напыления, микродефекты, микрорельефы

File Description: application/pdf

Relation: Современные проблемы машиностроения : сборник трудов XIV Международной научно-технической конференции, г. Томск, 25-30 октября 2021 г.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69161

Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69161

Сегнетоэлектрические мембраны с DLC-покрытием в виде сосудистых пластырей: физические свойства

Subject Terms: напыления, модифицированные поверхности, микрорельефы, сегнетоэлектрические мембраны, покрытия, микродефекты, физические свойства

File Description: application/pdf

Access URL: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69161