Microwave plasma generation using evanescent waves

Συγγραφείς: Volodymyr Volodymyrovych Perevertailo, Anatoly Ivanovitch Kuzmichev

Πηγή: Mìkrosistemi, Elektronìka ta Akustika, Vol 22, Iss 6 (2017)
Microsystems, Electronics and Acoustics; Том 22, № 6 (2017); 12-17
Микросистемы, Электроника и Акустика; Том 22, № 6 (2017); 12-17
Мікросистеми, Електроніка та Акустика; Том 22, № 6 (2017); 12-17

Θεματικοί όροι: Електроніка, microwave plasma generation, low-temperature plasma, evanescent waves, microwave generator, TK7800-8360, генерація надвисокочастотної плазми, 02 engineering and technology, еванесцентні хвилі, 01 natural sciences, 7. Clean energy, Электронника, 621.38, 0103 physical sciences, низькотемпературна плазма, Electronics, 0210 nano-technology, надвисокочастотний генератор, генерация сверхвысокочастотной плазмы, низкотемпературная плазма, эванесцентные волны, сверхвысокоча-стотный генератор

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://elc.kpi.ua/article/download/105023/118444
https://doaj.org/article/4e16ad96d9284476bdf520461f9e23f5
http://elc.kpi.ua/article/download/105023/118444
http://elc.kpi.ua/article/view/105023
http://elc.kpi.ua/article/view/105023