Получение и использование диэлектрических пленок двуокиси алюминия (Аl2О3) методом реактивного ВЧ - магнетронного напыления для защиты элементов СВЧ ГИС

Authors: Костюк Г. Ф., Ерендеев Ю. П., Костюк Г. Ф., Ерендеев Ю. П.

Source: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. - Текст : электронный

Subject Geographic: диэлектрические пленки двуокиси алюминия, защита элементов СВЧ ГИС, защитные пленки, метод реактивного ВЧ-магнетронного напыления, металлизированные структуры СВЧ ГИС, реактивное ВЧ-магнетронное напыление, СВЧ ГИС

Relation: RU\НТБ СГАУ\487906

Availability: http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-i-ispolzovanie-dielektricheskih-plenok-dvuokisi-aluminiya-Al2O3-metodom-reaktivnogo-VCh-magnetronnogo-napyleniya-dlya-zashity-elementov-SVCh-GIS-99438