Формування плівок ZnO на підкладках SiC/porous-Si/Si

Συγγραφείς: Abbasova, Chichek, Бачеріков, Юрій, Охріменко, Ольга, Кідалов, Валерій Віталійович, Батурін, Володимир, Карпенко, Олександр, Дяденчук, Альона Федорівна, Коломис, Олександр, Стрельчук, Віктор, Максименко, Зоя, Пономаренко, Валентина, Kidalov, Valeriy, Diadenchuk, Alona

Θεματικοί όροι: реактивне магнетронне розпилення, поруватий Si, плівка карбіду кремнію, хімічне заміщення атомів, спектри комбінаційного розсіювання та фотолюмінесценції, reactive magnetron sputtering, porous Si, silicon carbide film, chemical substitution of atoms, Raman scattering and photoluminescence spectra

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/18007

Διαθεσιμότητα: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/18007

Отримання плівок ZnO на макропоруватому Si (100) методом реактивного магнетронного розпилення

Συγγραφείς: Кідалов, В. В., Дяденчук, Альона Федорівна, Дяденчук, Алена Федоровна, Diadenchuk, Alona, Батурин, В. А., Рогозін, І. В., Бачеріков, Ю.Ю., Жук, А. Г., Філоненко, М. М., Карпенко, О. Ю.

Θεματικοί όροι: реактивне магнетронне розпилення, плівка ZnO, макропоруватий Si, reactive magnetron sputter, ZnO film, macroporous Si

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: Елементи, прилади та системи електронної техніки (ЕПСЕТ-18): матеріали першої Міжнародної науково-практичної конференції;С. 23-25; http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/10855

Διαθεσιμότητα: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/10855

Отримання шарів AlN при магнетронному розпиленні алюмінію в газовій суміші Ar + N2

Συγγραφείς: Korniushchenko, Hanna Serhiivna

Θεματικοί όροι: Plasma - condensate accumulation system, Реактивное магнетронное распыление, Near - equilibrium steady - state condensation, Квазірівноважна стаціонарна конденсація, Накопичувальна система плазма - конденсат, Нітрид алюмінію, Реактивне магнетронне розпилення, Нитрид алюминия, Квазиравновесная стационарная конденсация, Накопительая система плазма - конденсат, Aluminum nitride, Reactive magnetron sputtering

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/36029

Отримання шарів AlN при магнетронному розпиленні алюмінію в газовій суміші Ar + N2 ; Получение слоев AlN при магнетронном распылении алюминия в газовой смеси Ar + N2 ; Formation of AlN Layers at Magnetron Sputtering of Aluminum in Ar + N 2 Gas Mixture

Συγγραφείς: Корнющенко, Ганна Сергіївна, Корнющенко, Анна Сергеевна, Korniushchenko, Hanna Serhiivna

Θεματικοί όροι: Нітрид алюмінію, Квазірівноважна стаціонарна конденсація, Реактивне магнетронне розпилення, Накопичувальна система плазма - конденсат, Нитрид алюминия, Квазиравновесная стационарная конденсация, Реактивное магнетронное распыление, Накопительая система плазма - конденсат, Aluminum nitride, Near - equilibrium steady - state condensation, Reactive magnetron sputtering, Plasma - condensate accumulation system

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/36029

Διαθεσιμότητα: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/36029