Изучение элементного состава приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением хрома на образцы из Si и Al

Subject Terms: осаждение покрытий, распределение элементов в Cr/Si-структурах, метод резерфордовского обратного рассеяния, метод резонансных ядерных реакций, покрытия на основе хрома, метод ионно-ассистируемого осаждения в вакууме, распределение элементов в Сr/Al-структурах

File Description: application/pdf

Access URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/61599

Изучение элементного состава приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением хрома на образцы из Si и Al

Authors: Тульев, Валентин Валентинович

Subject Terms: покрытия на основе хрома, метод ионно-ассистируемого осаждения в вакууме, осаждение покрытий, метод резерфордовского обратного рассеяния, метод резонансных ядерных реакций, распределение элементов в Cr/Si-структурах, распределение элементов в Сr/Al-структурах

File Description: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/61599; 539.1.06:539.23.234

Availability: https://elib.belstu.by/handle/123456789/61599