Особенности генерации однородных газоразрядных пучково-плазменных образований в протяженном полом катоде сильноточного тлеющего разряда

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 1. С. 128-136

Subject Terms: тлеющий разряд с полым катодом, распределение концентрации плазмы, пучково-плазменные образования

File Description: application/pdf

Access URL: https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000847737

Осаждение многослойного покрытия в газометаллическом пучково-плазменном образовании при низком давлении

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2021. Т. 64, № 1. С. 125-129

Subject Terms: плазменное ассистирование, вакуумно-дуговое осаждение, многослойные покрытия, пучково-плазменные образования, газометаллическая плазма, разряды низкого давления

File Description: application/pdf

Access URL: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000796277