Технологія електронних структур та інтегральних мікросхем

Authors: Сидоренко, С.В.

Subject Terms: електронолітографія, электронолитография, electrolnotography, зондова літографія, зондовая литография, probe lithography, процеси самоорганізації наночастинок, процессы самоорганизации наночастиц, processes of self-organizing nanoparticles

File Description: application/pdf

Relation: Сидоренко, С.В. Технологія електронних структур та інтегральних мікросхем [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра; спец.: 6.05080201 – електронні прилади та пристрої / С.В. Сидоренко; наук. керівник І.П. Бурик . – Конотоп: КІ СумДУ, 2019. – 36 с.; http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/73492

Availability: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/73492