ТЕОРЕТИЧНІ АСПЕКТИ МОДЕЛЮВАННЯ ТА ПРОЕКТУВАННЯ РЕЗОНАТОРНИХ ЗОНДІВ ДЛЯ СКАНУЮЧОЇ МІКРОХВИЛЬОВОЇ МІКРОСКОПІЇ

Source: Sensor Electronics and Microsystem Technologies; Том 8, № 3 (2011); 97-107
Сенсорная электроника и микросистемные технологии; Том 8, № 3 (2011); 97-107
Сенсорна електроніка і мікросистемні технології; Том 8, № 3 (2011); 97-107

Subject Terms: скануюча мікрохвильова мікроскопія (СММ), резонаторний зонд, добротність, резонансна частота, просторова роздільна здатність (ПРЗ), напівпровідник, діелектрична проникність, сканирующая микроволновая микроскопия (СММ), резонаторный зонд, добротность, резонансная частота, пространственная разрешающая способность (ПРС), полупроводник, диэлектрическая проницаемость, scanning microwave microscopy (SMM), resonator probe, quality factor, resonance frequency, spacial resolving capacity (SRC), semiconductor, dielectric permittivity

File Description: application/pdf

Access URL: http://semst.onu.edu.ua/article/view/118171

Количественный анализ разрешающей способности зондовой сканирующей микроволновой микроскопии

Authors: Гордиенко, Ю. Е., Ларкин, С. Ю., Шиян, О. П.

Subject Terms: зондовая сканирующая микроволновая микроскопия (ЗСММ), резонаторный зонд, пространственная разрешающая способность (ПРС), scanning probe microwave microscopy, resonator probe, spatial resolution

File Description: application/pdf

Relation: http://openarchive.nure.ua/handle/document/310

Availability: http://openarchive.nure.ua/handle/document/310