HIGH PRECISION INTERFEROMETRIC THICKNESS ANALYSIS OF SUB-MICROMETERS SPIN-COATED POLYEPOXYPROPYLCARBAZOLE FILMS

Πηγή: Sensor Electronics and Microsystem Technologies; Том 9, № 3 (2012)
Сенсорная электроника и микросистемные технологии; Том 9, № 3 (2012)
Сенсорна електроніка і мікросистемні технології; Том 9, № 3 (2012)

Θεματικοί όροι: покриття, отримане методом центрифугування, мікроінтерферометр МИИ-4, система виміру товщин, цифрова обробка інтерферограм, субмікронні тонкі плівки, покрытие, полученное методом центрифугирования, микроинтерферометр МИИ-4, система измерения толщин, цифровая обработка интерферограм, субмикронные тонкие пленки, spin-coating, microinterferometer MII-4, thickness measurement system, digital interferograms processing, submicrometer thin films

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://semst.onu.edu.ua/article/view/62-69