Изучение поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме

Subject Terms: метод ядерных реакций, осаждение металлосодержащих покрытий, ионно-ассистируемое осаждение в вакууме, метод резерфордовского обратного рассеяния, покрытия на основе металла, поверхности структур металл/кремний

File Description: application/pdf

Access URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/67573

Изучение поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме

Authors: Тульев, Валентин Валентинович

Subject Terms: ионно-ассистируемое осаждение в вакууме, осаждение металлосодержащих покрытий, метод резерфордовского обратного рассеяния, метод ядерных реакций, покрытия на основе металла, поверхности структур металл/кремний

File Description: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/67573; 539.1.06:539.23.234

Availability: https://elib.belstu.by/handle/123456789/67573