Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния

Θεματικοί όροι: кислотные травители, травление кремниевых пластин, пластины монокристаллического кремния, травление кремния, монокристаллический кремний

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44888

Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr

Θεματικοί όροι: условия ионного ассистирования, ионно-ассистированное осаждение, пластины монокристаллического кремния, кремниевые пластины, металлические покрытия, резерфордовское обратное рассеяние

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602

Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии

Θεματικοί όροι: конические структуры, комбинационное рассеяние, пластины монокристаллического кремния, сканирующая электронная микроскопия

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700

Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния

Συγγραφείς: Локун, Р. А., Мурашкевич, Анна Николаевна

Θεματικοί όροι: монокристаллический кремний, пластины монокристаллического кремния, травление кремния, травление кремниевых пластин, кислотные травители

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44888; 546.28.004; 66.10.915.921

Διαθεσιμότητα: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44888

Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr

Συγγραφείς: Барайшук, С. М., Вертель, М., Будзинский, М., Бобрович, Олег Георгиевич, Михалкович, О. М.

Θεματικοί όροι: металлические покрытия, пластины монокристаллического кремния, условия ионного ассистирования, ионно-ассистированное осаждение, резерфордовское обратное рассеяние, кремниевые пластины

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602; 538.97; 539.23; 539.25

Διαθεσιμότητα: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602

Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии

Συγγραφείς: Францкевич, Н. В., Францкевич, А. В., Федотов, А. К., Мазаник, А. В.

Θεματικοί όροι: комбинационное рассеяние, сканирующая электронная микроскопия, конические структуры, пластины монокристаллического кремния

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700; 621.315.592

Διαθεσιμότητα: https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700

Роль пластической деформации в получении нанокремния ; Роль пластичної деформації в отриманні нанокремнія ; The role of plastic deformation in obtaining nanostructure silicon

Συγγραφείς: Кулинич, О.А., Кулініч, О.А., Kulinich, O.

Θεματικοί όροι: наноструктурированный кремний, пластины монокристаллического кремния, химические избирательные травители, электрохимическое травление, наноструктуровані кремній, пластини монокристалічного кремнію, хімічні виборчі травители, електрохімічне травлення, nanostructured silicon, a wafer of monocrystalline silicon, chemical electoral stain, electrochemical etching

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: http://dspace.oneu.edu.ua/jspui/handle/123456789/2557

Διαθεσιμότητα: http://dspace.oneu.edu.ua/jspui/handle/123456789/2557

Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии

Συγγραφείς: Францкевич, Н. В., Францкевич, А. В., Федотов, А. К., Мазаник, А. В.

Θεματικοί όροι: комбинационное рассеяние, сканирующая электронная микроскопия, конические структуры, пластины монокристаллического кремния

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: 621.315.592; https://openrepository.ru/article?id=33352

Διαθεσιμότητα: https://openrepository.ru/article?id=33352

Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии

Συγγραφείς: Францкевич, Н. В., Францкевич, А. В., Федотов, А. К., Мазаник, А. В.

Όροι ευρετηρίου: комбинационное рассеяние, сканирующая электронная микроскопия, конические структуры, пластины монокристаллического кремния

Σύνδεσμος: http://hdl.handle.net/rour/33352uri