Пакетный импульсный режим дуального магнетронного распыления

Συγγραφείς: Захаров, Александр Николаевич, Павлов, Артем Павлович, Работкин, Сергей Викторович, Семенов, Вячеслав Аркадьевич, Оскирко, Владимир Олегович

Πηγή: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 7. С. 89-96

Θεματικοί όροι: дуальная магнетронная распылительная система, реактивное магнетронное распыление, пакетно-импульсное магнетронное распыление высокой мощности, сильноточное импульсное магнетронное распыление

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: vtls:000674387; https://openrepository.ru/article?id=331394

Διαθεσιμότητα: https://doi.org/10.17223/00213411/62/7/89
https://openrepository.ru/article?id=331394