PRECISION MOTION SYSTEM FOR OPTO-MECHANICAL EQUIPMENT OF MICROELECTRONICS ; ПРЕЦИЗИОННАЯ СИСТЕМА ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ДЛЯ ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Συγγραφείς: I. V. Dainiak, S. E. Karpovich, N. I. Kekish, L. Goldyn, И. В. Дайняк, С. Е. Карпович, Н. И. Кекиш, Л. Голдын

Πηγή: Science & Technique; № 4 (2015); 24-32 ; НАУКА и ТЕХНИКА; № 4 (2015); 24-32 ; 2414-0392 ; 2227-1031 ; undefined

Θεματικοί όροι: оптико-механическое оборудование, segment motor, parallel kinematic mechanism, opto-mechanical equipment, сегментный двигатель, механизм параллельной кинематики

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://sat.bntu.by/jour/article/view/848/823; Аваков, С. М. Автоматический контроль топологии планарных структур / С. М. Аваков, С. Е. Карпович. – Минск: ФУАинформ, 2007. – 168 с.; Оптико-механические комплексы для бездефектного изготовления фотошаблонов 0,35 мкм и 90 нм / С. М. Аваков [и др.] // Фотоника. – 2007. – № 6. – С. 35–39.; Аваков, С. М. Современное оборудование для производства изделий электронной техники / С. М. Аваков, С. Б. Школык // Петербургский журнал электроники. – 2006. – Вып. 1 (46)–2 (47). – С. 204–209.; Системы многокоординатных перемещений и исполнительные механизмы для прецизионного технологического оборудования / В. В. Жарский [и др.]; под ред. С. Е. Карповича. – Минск: Бестпринт, 2013. – 208 с.; Карпович, С. Е. Прецизионные системы перемещений / С. Е. Карпович, Ю. С. Межинский, В. В. Жарский // Доклады БГУИР. – 2004. – № 3 (7). – С. 50–61.; Карпович, С. Е. Прецизионные системы перемещений для оборудования производства изделий электронной техники / С. Е. Карпович, В. В. Жарский, И. В. Дайняк // Доклады БГУИР. – 2014. – № 2 (80). – С. 60–72.; Структура механической системы на базе параллельного манипулятора с шестью степенями свободы / С. Е. Карпович [и др.] // Актуальные вопросы машиноведения: сб. науч. тр. / Объедин. ин-т машиностроения НАН Беларуси; редкол.: А. А. Дюжев [и др.]. – Минск: Промпечать, 2013. – Вып. 2. – С. 150–153.; Litvinau, Y. On-the-Fly Reconfigurable Parallel Manipulators / Y. Litvinau, S. Karpovich // Proceedings of 56th Int. Scientific Colloquium, Ilmenau, Germany, September 12–16, 2011 / Technical University of Ilmenau. – Ilmenau, 2011. – P. 90–91.; Дайняк, И. В. Реконфигурируемые исполнительные механизмы параллельной кинематики / И. В. Дайняк, С. Е. Карпович, В. В. Жарский // Актуальные вопросы машиноведения: сб. науч. тр. / Объедин. ин-т машиностроения НАН Беларуси; редкол.: А. А. Дюжев [и др.]. – Минск: Промпечать, 2013. – Вып. 2. – С. 145–149.; Моделирование механизмов параллельной кинематики в среде MatLab/Simulink / С. Е. Карпович [и др.]. – Минск: Бестпринт, 2013. – 153 с.; Карпович, С. Е. Построение математических моделей автоматизированного проектирования прецизионного оптико-механического оборудования для электронного машиностроения / С. Е. Карпович, В. Е. Матюшков, С. М. Аваков; под ред. С. Е. Карповича. – Минск: НПО «Интеграл», 2000. – 123 с.; https://sat.bntu.by/jour/article/view/848; undefined

Διαθεσιμότητα: https://sat.bntu.by/jour/article/view/848

ПРЕЦИЗИОННАЯ СИСТЕМА ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ДЛЯ ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Συγγραφείς: ДАЙНЯК И.В., КАРПОВИЧ С.Е., КЕКИШ Н.И., ГОЛДЫН Л.

Θεματικοί όροι: ПРЕЦИЗИОННАЯ СИСТЕМА ПЕРЕМЕЩЕНИЙ,СЕГМЕНТНЫЙ ДВИГАТЕЛЬ,МЕХАНИЗМ ПАРАЛЛЕЛЬНОЙ КИНЕМАТИКИ,ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/pretsizionnaya-sistema-peremescheniy-dlya-optiko-mehanicheskogo-oborudovaniya-mikroelektroniki
http://cyberleninka.ru/article_covers/16083570.png

Прецизионная система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроники

Θεματικοί όροι: Прецизионная система перемещений, Оптико-механическое оборудование, Механизм параллельной кинематики, Сегментный двигатель

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://rep.bntu.by/handle/data/18390

Прецизионная система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроники

Συγγραφείς: Dainiak, I. V., Karpovich, S. E., Kekish, N. I., Goldyn, L.

Θεματικοί όροι: оптико-механическое оборудование, механизм параллельной кинематики, precision motion system, segment motor, сегментный двигатель, публикации ученых, opto-mechanical equipment, прецизионная система перемещений, parallel kinematic mechanism

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://openrepository.ru/article?id=412762

Прецизионная система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроники

Πηγή: Наука и техника.

Θεματικοί όροι: ПРЕЦИЗИОННАЯ СИСТЕМА ПЕРЕМЕЩЕНИЙ,СЕГМЕНТНЫЙ ДВИГАТЕЛЬ,МЕХАНИЗМ ПАРАЛЛЕЛЬНОЙ КИНЕМАТИКИ,ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article/n/pretsizionnaya-sistema-peremescheniy-dlya-optiko-mehanicheskogo-oborudovaniya-mikroelektroniki
http://cyberleninka.ru/article_covers/16083570.png

Прецизионная система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроники ; Precision motion system for opto-mechanical equipment Of microelectronics

Συγγραφείς: Дайняк, И. В., Карпович, С. Е., Кекиш, Н. И., Голдын, Л., Dainiak, I. V., Karpovich, S. E., Kekish, N. I., Goldyn, L.

Θεματικοί όροι: публикации ученых, прецизионная система перемещений, сегментный двигатель, механизм параллельной кинематики, оптико-механическое оборудование, precision motion system, segment motor, parallel kinematic mechanism, opto-mechanical equipment

Relation: https://openrepository.ru/article?id=412762

Διαθεσιμότητα: https://openrepository.ru/article?id=412762

Прецизионная система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроники

Additional Titles: Precision Motion System for Opto-Mechanical Equipment of Microelectronics

Συγγραφείς: Дайняк, И. В., Карпович, С. Е., Кекиш, Н. И., Голдын, Л.

Όροι ευρετηρίου: Прецизионная система перемещений, Сегментный двигатель, Механизм параллельной кинематики, Оптико-механическое оборудование, Статья (Article)

Σύνδεσμος: http://hdl.handle.net/rour/54308uri
Наука и техника = Science & Technigue