Формирование гладкого и микропористого подложечного материала на основе ZnO

Source: Конденсированные среды и межфазные границы, Vol 26, Iss 3 (2024)

Subject Terms: Chemistry, подложки, горячая мишень, микропористая структура, оксид цинка, нитридные технологии, магнетронное распыление, QD1-999

Access URL: https://doaj.org/article/d16897a850ee41d887cdc41a2f4a638c