Модернизация магнетронной распылительной системы для увеличения чистоты наноразмерных покрытий

Θεματικοί όροι: магнетронные распылительные системы, инновационные технологии, напыление тонких пленок, нанесение тонкопленочных покрытий, наноразмерные покрытия

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://elib.belstu.by/handle/123456789/36605

Модернизация магнетронной распылительной системы для увеличения чистоты наноразмерных покрытий

Συγγραφείς: Сотников, Д. А., Галаганова, Е. Н., Мезенцев, Д. О., Якупов, Э. С.

Θεματικοί όροι: магнетронные распылительные системы, напыление тонких пленок, наноразмерные покрытия, нанесение тонкопленочных покрытий, инновационные технологии

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/36605; 621

Διαθεσιμότητα: https://elib.belstu.by/handle/123456789/36605