Математична модель для дослідження технічних характеристик інтегрального мікросенсора кутової швидкості ; Mathematical model for research of technical characteristics of integrated angular velocity microsensor

Authors: Головатий, А., Артюшенко, Б., Holovatyy, A., Artyushenko, B.

Subject Terms: МЕМС, мікроелектромеханічний гіроскоп, інтегральний мікросенсор кутової швидкості, кутова швидкість, сила Коріоліса, гребінчастий привод, скінченноелементна модель, модальний аналіз, MEMS, microelectromechanical gyroscope, integrated angular velocity microsensor, angular velocity, Coriolis force, comb drive, finite element model, modal analysis, 519.2.4, 681.5, 621.382

Subject Geographic: Тернопіль, Україна

Relation: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/2398

Availability: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/2398