Investigation of geometric parameters of silicon structures in device layer during manufacture of sensitive elements of micromechanical accelerometers

Συγγραφείς: N. S. Karanin

Πηγή: Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики, Vol 25, Iss 2, Pp 236-242 (2025)

Θεματικοί όροι: глубокое реактивно-ионное травление, bosch-процесс, приборный слой, инерциальный чувствительный элемент, микромеханический акселерометр, Information technology, T58.5-58.64

Περιγραφή αρχείου: electronic resource

Relation: https://ntv.elpub.ru/jour/article/view/443; https://doaj.org/toc/2226-1494; https://doaj.org/toc/2500-0373

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://doaj.org/article/758e91faa6114b85910e014894d4bdb7

Optimal Overall Dimensions of a Surface Acoustic Waves Ring Resonator ; Оптимальный габаритный параметр кольцевого резонатора на поверхностных акустических волнах

Συγγραφείς: S. Yu. Shevchenko, D. A. Mikhailenko, С. Ю. Шевченко, Д. А. Михайленко

Πηγή: Journal of the Russian Universities. Radioelectronics; Том 26, № 2 (2023); 89-100 ; Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника; Том 26, № 2 (2023); 89-100 ; 2658-4794 ; 1993-8985

Θεματικοί όροι: встречно-штыревой преобразователь, micromechanical accelerometer, sensitive element, ring resonator, surface acoustic waves, interdigital transducer, микромеханический акселерометр, чувствительный элемент, кольцевой резонатор, поверхностные акустические волны

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://re.eltech.ru/jour/article/view/739/680; Nitride-based materials for flexible MEMS tactile and flow sensors in robotics / C. Abels, V. M. Mastronardi, F. Cuido, T. Dattoma, A. Qualtieri, W. M. Megill, M. De Vittorio, F. Rizzi // Sensors. 2017. Vol. 17, № 5. P. 1080. doi:10.3390/s17051080; Shock-induced aluminum nitride based MEMS energy harvester to power a leadless pacemaker / N. Jackson, O. Z. Olszewski, C. O'Murchu, A. Mathewson // Sensors and Actuators A: Physical. 2017. Vol. 264. P. 212–218. doi:10.1016/j.sna.2017.08.005; Sheikh S. A., Naidu H. A Novel Robotics and MEMS Artificial Intelligence based Train Safety Device // 2nd Intern. Conf. on Smart Electronics and Communication (ICOSEC). Piscataway: IEEE, 2021. P. 1–5. doi:10.1109/ICOSEC51865.2021.9591761; A multi-source early warning system of MEMS based wireless monitoring for rainfall-induced landslides / Z. Yang, W. Shao, J. Qiao, D. Huang, H. Tian, X. Lei, T. Uchumura // Applied Sciences. 2017. Vol. 7, № 12. P. 1234. doi:10.3390/app7121234; Laser beam scanning based AR-display applying resonant 2D MEMS mirrors / O. Petrak, F. Schwarz, L. Pohl, M. Reher, C. Janicke, J. Przytarski, F. Senger, J. Albers, T. Giese, L. Ratzmann, P. Blicharski, S. Marauska, T. von Wantoch, U. Hofmann // Optical Architectures for Displays and Sensing in Augmented, Virtual, and Mixed Reality (AR, VR, MR) II. 2021. Vol. 11765. P. 15–32. doi:10.1117/12.2579695; Invisible experience to real-time assessment in elite tennis athlete training: Sport-specific movement classification based on wearable MEMS sensor data / M. Wu, R. Wang, Ya. Hu, M. Fan, Yu. Wang, Ya. Li, Sh. Wu // Proc. of the Institution of Mechanical Engineers, Part P: J. of Sports Engineering and Technology. 2021. P. 17543371211050312. doi:10.1177/17543371211050312; Сысоева С. Автомобильные акселерометры. Ч. 2. Автомобильные акселерометры – ключевые фигуры систем безопасности и комфорта // Компоненты и технологии. 2005. Т. 9. URL: https://kite.ru/sensor/avtomobilnye-akselerometry-chast-2/ (дата обращения 21.08.2022); Apple Watch Series 8 // Apple Inc. URL: https://www.apple.com/uk/apple-watch-series-8/ (дата обращения 20.09.2022); iPhone 14 Pro and 14 Pro Max – Technical Specifications // Apple Inc. URL: https://www.apple.com/uk/iphone-14-pro/specs/ (дата обращения 20.09.2022); DualSense wireless controller. The innovative new controller for PS5 // PlayStation. URL: https://www.playstation.com/en-gb/accessories/dualsensewireless-controller/ (дата обращения 21.08.2022); Mavic 3 – Характеристики // DJI. URL: https://www.dji.com/ru/mavic-3/specs (дата обращения 21.08.2022); Morgan D., Paige E. G. S. Propagation effects and materials // Surface Acoustic Wave Filters. 2nd ed. Oxford: Academic Press, 2007. P. 87–113. doi:10.1016/B978-0-12-372537-0.X5000-6; Доберштейн С. А., Гончаров И. В. Микроакустика: техника ПАВ и ОАВ в АПОИ. Влияние МЭМС-технологий на АПОИ // Радиотехника, Электроника и Связь (" РЭиС-2011"), Омск, 05–08 июля 2011 г. / Омский научно-исследовательский ин-т приборостроения. Омск, 2011. С. 403–411.; Multi-mode love-wave SAW magnetic-field sensors / Ju. Schmalz, A. Kittmann, Ph. Durdaut, B. Spetzler, F. Faupel, M. Hoft, E. Quandt, M. Gerken // Sensors. 2020. Vol. 20, № 12. P. 3421. doi:10.3390/s20123421; High-temperature SAW resonator sensors: Electrode design specifics / S. A. Zhgoon, A. S. Shvetsov, S. A. Sakharov, O. Elmazria // IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control. 2018. Vol. 65, № 4. P. 657–664. doi:10.1109/TUFFC.2018.2797093; Advances in SAW-based gas sensors / C. Caliendo, P. Verardi, E. Verona, A. D'amico, C. Di Natale, G. Saggio, M. Serafini, R. Paolesse, S. E. Huq // Smart materials and structures. 1997. Vol. 6, № 6. P. 689. doi:10.1088/0964-1726/6/6/005; Properties of SAW vibration sensors applicable in the field of power engineering / A. A. Merkulov, S. A. Zhgoon, A. S. Shvetsov, N. A. Belyankin // 3rd Intern. Youth Conf. on Radio Electronics, Electrical and Power Engineering (REEPE). Piscataway: IEEE, 2021. P. 1–5. doi:10.1109/REEPE51337.2021.9388033; Physical principles of a piezo accelerometer sensitive to a nearly constant signal / V. Gupalov, A. Kukaev, S. Shevchenko, E. Shalymov // Sensors. 2018. Vol. 18, № 10. P. 3258. doi:10.3390/s18103258; The effect of a rotating medium on bulk acoustic wave polarization: From theoretical considerations to perspective angular motion sensor design / Ya. Durukan, M. Shevchenko, A. Peregudov, E. Popkova, S. Shevchenko // Sensors. 2020. Vol. 20, № 9. P. 2487. doi:10.3390/s20092487; Shevchenko S. Y., Khivrich M. A., Markelov O. A. Ring-shaped sensitive element design for acceleration measurements: Overcoming the limitations of angular-shaped sensors // Electronics. 2019. Vol. 8, № 2. P. 141. doi:10.3390/electronics8020141; Shevchenko S. Y., Mikhailenko D. A., Markelov O. A. Comparison of AlN vs. SIO2/LiNbO3 membranes as sensitive elements for the SAW-based acceleration measurement: Overcoming the anisotropy effects // Sensors. 2020. Vol. 20, № 2. P. 464. doi:10.3390/s20020464; Shevchenko S. Y., Mikhailenko D. A. Topological Optimization of Circular SAW Resonators: Overcoming the Discreteness Effects // Sensors. 2022. Vol. 22, № 3. P. 1172. doi:10.3390/s22031172; https://re.eltech.ru/jour/article/view/739

Διαθεσιμότητα: https://re.eltech.ru/jour/article/view/739
https://doi.org/10.32603/1993-8985-2023-26-2-89-100

Optimizing the Design of Surface-Acoustic-Wave Ring Resonator by Changing the Interdigitated Transducer Topology ; Оптимизация конструкции встречно-штыревого преобразователя кольцевого резонатора на поверхностных акустических волнах

Συγγραφείς: S. Yu. Shevchenko, D. A. Mikhailenko, B. Nyamweru, С. Ю. Шевченко, Д. А. Михайленко, Б. Ньямверу

Συνεισφορές: This research was funded by the Committee for Science and Higher Education of St. Peters-burg within the framework of a grant in the form of subsidies in the field of scientific and scientific-technical activities., Работа выполнена при финансовой поддержке Комитета по науке и высшей школе Санкт-Петербурга в рамках гранта в форме субсидий в сфере научной и научно-технической деятельности.

Πηγή: Journal of the Russian Universities. Radioelectronics; Том 24, № 6 (2021); 51-62 ; Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника; Том 24, № 6 (2021); 51-62 ; 2658-4794 ; 1993-8985

Θεματικοί όροι: топология, micromechanical accelerometer, sensitive element, surface acoustic waves, interdigitated transducer, anisotropic material, isotropic material, topology, микромеханический акселерометр, чувствительный элемент, поверхностные акустические волны, встречно-штыревой преобразователь, анизотропные материалы, изотропные материалы

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://re.eltech.ru/jour/article/view/578/584; Design and analysis of a capacitive MEMS accelerometer as a wearable sensor in identifying low-frequency vibration profiles / M. Preeti, K. Guha, K. L. Baishnab, A. S. C. S. Sastry; ed. by G. Dutta, A. Biswas, A. Chakrabarti // Modern Techniques in Biosensors: Detection Methods and Commercial Aspects. Singapore: Springer, 2021. P. 37–61. doi:10.1007/978-981-15-9612-4_2; Tang W., Chen C. Motion recognition system of table tennis players based on MEMS sensor // Multimedia Technology and Enhanced Learning. ICMTEL 2021 / ed. by W. Fu, Y. Xu, S.-H. Wang, Y. Zhang. Cham.: Springer, 2021. P. 128–141. doi:10.1007/978-3-030-82565-2_11; Laser beam scanning based AR-display applying resonant 2D MEMS mirrors / O. Petrak, F. Schwarz, L. Pohl, M. Reher, C. Janicke, J. Przytarski, F. Senger, J. Albers, T. Giese, L. Ratzmann, P. Blicharski, S. Marauska, T. Wantoch, U. Hofmann // Proc. SPIE. 2021. Vol. 11765. P. 1–18. doi:10.1117/12.2579695; Single-pixel MEMS imaging systems / G. Zhou, Z. H. Lim, Y. Qi, G. Zhou // Micromachines. 2020. Vol. 11, № 2. P. 219. doi:10.3390/mi11020219; Kourani A., Yang Y., Gong S. A Ku-band oscillator utilizing overtone lithium niobate RF-MEMS resonator for 5G // IEEE Microwave and Wireless Components Lett. 2020. Vol. 30, № 7. P. 681–684. doi:10.1109/LMWC.2020.2996961; A MEMS-based multi-parameter integrated chip and its portable system for water quality detection / Z. Wu, J. Wang, C. Bian, J. Tong, S. Xia // Micromachines. 2020. Vol. 11, № 2. P. 63. doi:10.3390/mi11010063; iPhone 12 Pro and iPhone 12 Pro Max – Technical Specifications. URL: https://www.apple.com/uk/iphone-12-pro/specs/ (дата обращения 07.11.2021); DualSense wireless controller. The innovative new controller for PS5. URL: https://www.playstation.com/engb/accessories/dualsense-wireless-controller/ (дата обращения 07.11.2021); PlayStation VR. Technical specifications. URL: https://www.playstation.com/en-gb/ps-vr/tech-specs/ (дата обращения 07.11.2021); Momentus 7200.2. Product Overview // Seagate. URL:https://www.seagate.com/docs/pdf/marketing/po_momentus_7200_2.pdf (дата обращения 07.11.2021); Car DVR camera system: PROTECT 802 (2 channels, GPS, accelerometer). URL: https://www.dipolnet.com/car_dvr_camera_system_protect_802_2_channels_gps_accelerometer__m70802.htm (дата обращения 07.11.2021); Morgan D., Paige E. G. S. Propagation effects and materials // Surface Acoustic Wave Filters. 2nd ed. Oxford: Academic Press, 2007. P. 87–113. doi:10.1016/B978-0-12-372537-0.X5000-6; Physical principles of a piezo accelerometer sensitive to a nearly constant signal / V. Gupalov, A. Kukaev, S. Shevchenko, E. Shalymov, V. Venediktov // Sensors. 2018. Vol. 18, № 10, 3258. P. 1–5. doi:10.3390/s18103258; The effect of a rotating medium on bulk acoustic wave polarization: From theoretical considerations to perspective angular motion sensor design / Y. Durukan, M. Shevelko, A. Peregudov, E. Popkova, S. Shevchenko // Sensors. 2020. Vol. 20, № 9, 2487. P. 1–11. doi: https://doi.org/10.3390/s20092487; Product Finder // PCB Piezotronics. URL: https://www.pcb.com/products/product-finder?tx=15 (дата обращения 07.11.2021); Constantinoiu I., Viespe C. Development of Pd/TiO2 porous layers by pulsed laser deposition for surface acoustic wave H2 gas sensor // Nanomaterials. 2020. Vol. 10, № 4, 760. P. 1–10. doi:10.3390/nano10040760; Optimization of SAW devices with LGS/Pt structure for sensing temperature / X. Li, W. Wang, S. Fan, Y. Yin, Y. Jia, Y. Liang, M. Liu // Sensors. 2020. Vol. 20, № 9, 2441. P. 1–13. doi:10.3390/s20092441; Water Pressure Monitoring Using a Temperature-compensated WP-SAW pressure sensor / Z. Tang, W. Wu, J. Gao, P. Yang, J. Luo, C. Fu // IEEE 18th Intern. Conf. on Industrial Informatics (INDIN), Warwick, United Kingdom, 20–23 July 2020. Piscataway: IEEE, 2020. P. 354–357. doi:10.1109/INDIN45582.2020.9442222; Shevchenko S. Y., Khivrich M. A., Markelov M. A. Ring-shaped sensitive element design for acceleration measurements: overcoming the limitations of angular-shaped sensors // Electronics. 2019. Vol. 8, 141. P. 1–12. doi:10.3390/electronics8020141; Shevchenko S. Y., Mikhailenko D. A., Markelov O. A. Comparison of AlN vs. SIO2/LiNbO3 membranes as sensitive elements for the SAW-based acceleration measurement: Overcoming the anisotropy effects // Sensors. 2020. Vol. 20, № 2, 464. P. 1–13. doi:10.3390/s20020464; https://re.eltech.ru/jour/article/view/578

Διαθεσιμότητα: https://re.eltech.ru/jour/article/view/578
https://doi.org/10.32603/1993-8985-2021-24-6-51-62

Selection of the Material for the Sensitive Elements of SAW-based Accelerometers ; Выбор материала чувствительных элементов акселерометров на основе ПАВ

Συγγραφείς: S. Yu. Shevchenko, D. A. Mikhailenko, D. P. Lukyanov, С. Ю. Шевченко, Д. А. Михайленко, Д. П. Лукьянов

Συνεισφορές: С. Ю. Шевченко и Д. А. Михайленко благодарят Российский Научный Фонд за поддержку в рамках проекта № 20-19-00460.

Πηγή: Journal of the Russian Universities. Radioelectronics; Том 23, № 6 (2020); 70-83 ; Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника; Том 23, № 6 (2020); 70-83 ; 2658-4794 ; 1993-8985

Θεματικοί όροι: изотропный материал, micromechanical accelerometer, sensitive element, surface acoustic waves, interdigital transducer, anisotropic material, isotropic material, микромеханический акселерометр, чувствительный элемент, поверхностные акустические волны, встречно-штыревой преобразователь, анизотропный материал

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://re.eltech.ru/jour/article/view/479/512; Днепровский В. Г., Карапетьян Г. Я. Устройства на поверхностных акустических волнах. Р. н/д: Изд-во Южного федерального ун-та, 2014. 186 C.; Пассивный беспроводный датчик на поверхностных акустических волнах для измерения параметров газовых и жидких сред / Г. Я. Карапетьян, В. Г. Днепровский, С. А. Багдасарян, А. С. Багдасарян, А. Л. Николаев, Е. М. Кайдашев // Инженерный вестн. Дона. 2012. Т. 20, № 2. C. 186–190.; Thiele J. A., Da Cunha M. P. High temperature LGS SAW gas sensor // Sensors and Actuators B: Chemical. 2006. Vol. 113, № 2. P. 816–822. doi:10.1016/J.SNB.2005.03.071; Development of a SAW gas sensor for monitoring SO2 gas / Y. J. Lee, H. B. Kim, Y. R. Roh, H. M. Cho, S. Baik // Sensors and Actuators A: Physical. Nov. 1998. Vol. 64, № 2. P. 173–178. doi:10.1016/s0924-4247(98)80011-3; Кронидов Т. В., Калинин В. А. Беспроводной пассивный датчик температуры на ПАВ-метке // Вопросы радиоэлектроники. 2012. Т. 1, № 1. С. 115–123.; SAW temperature sensor with mirror topology / I. Antcev, S. Bogoslovsky, G. Sapozhnikov, S. Zhgoon, A. Shvetsov // European Frequency and Time Forum (EFTF), IEEE, Apr. 2018. P. 101–104. doi:10.1109/eftf.2018.8409008; GaN membrane supported SAW pressure sensors with embedded temperature sensing capability / A. Müller, G. Konstantinidis, I. Giangu, G. C. Adam, A. Stefanescu, A. Stavrinidis, G. Stavrinidis, A. Kostopoulos, G. Boldeiu, A. Dinescu // IEEE Sensors J. 2017. Vol. 17, № 22. P. 7383–7393. doi:10.1109/JSEN.2017.2757770; Irzhak D., Roshchupkin D. Measurement of independent piezoelectric moduli of Ca3NbGa3Si2O14, La3Ga5.5Ta0.5O14 and La3Ga5SiO14 single crystals // J. of Applied Crystallography. 2018. Vol. 51, № 4. P. 1174–1181. doi:10.1107/s1600576718009184; A high sensitive SH-SAW biosensor based 36° YX black LiTaO3 for label-free detection of Pseudomonas Aeruginosa / J. Ji, Ch. Yang, F. Zhang, Zh. Shang, Y. Xu, Y. Chen, M. Chen, X. Mu // Sensors and Actuators B: Chemical. 2019. Vol. 281. P. 757–764. doi:10.1016/j.snb.2018.10.128; Maskay A., Ayes A., da Cunha M. P. Stability of Pt/Al2O3-based electrode langasite SAW sensors with Al2O3 capping layer and yttria-stabilized zirconia sensing layer // IEEE Intern. Ultrasonics Symp. (IUS), IEEE, Sep. 2017. P. 1–4. doi:10.1109/ultsym.2017.8092442; Peculiar Properties of Phase Transitions in Na0.5Bi0.5TiO3-0.06BaTiO3 Lead-free Relaxor Ferroelectrics Seen Via Acoustic Emission / E. Dul'kin, J. Tiagunova, E. Mojaev, M. Roth // Functional Materials Letters. 2017. Т. 10, № 4. P. 1750048. doi:10.1142/S1793604717500485; Shevchenko S. Y., Khivrich M. A., Markelov M. A. Ring-Shaped Sensitive Element Design for Acceleration // Measurements: Overcoming the Limitations of Angular-Shaped Sensors. Electronics. 2019. Vol. 8, № 2. 141 p. doi:10.3390/electronics8020141; Micromechanical accelerometers based on surface acoustic waves / D. Lukyanov, S. Shevchenko, A. Kukaev, E. Filippova, D. Safronov // In Proc. of the NORCHIP 2014 32nd Conf.: The Nordic Microelectronics Event, Tampere, Finland, 7–28 Oct. 2014. P. 1–4. doi:10.1109/NORCHIP.2014.7004701; Microaccelerometer based on surface acoustic waves / D. Lukyanov, S. Shevchenko, A. Kukaev, E. Filippova, D. Safronov // In Proc. of the 2014 Symp. on Piezoelectricity, Acoustic Waves and Device Applications, Beijing, China, 30 Oct. – 2 Nov. 2014. P. 18–21. doi:10.1109/SPAWDA.2014.6998515; Surface-acoustic-wave sensor design for acceleration measurement / S. Shevchenko, A. Kukaev, M. Khivrich, D. Lukyanov // Sensors. 2018. Vol. 18, № 7. P. 2301. doi:10.3390/s18072301; Ring waveguide resonator on surface acoustic waves: First experiments / S. V. Biryukov, H. Schmidt, A. V. Sotnikov, M. Weihnacht, T. Yu. Chemekova, Yu. N. Makarov // J. Appl. Phys. 2009. Vol. 106, № 12. P.126103. doi:10.1063/1.3272027; Biryukov S. V., Schmidt H., Weihnacht M. Singlemode ring waveguide resonator on SAW // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2010. P. 2099–2102. doi:10.1109/ultsym.2010.5935471; https://re.eltech.ru/jour/article/view/479

Διαθεσιμότητα: https://re.eltech.ru/jour/article/view/479
https://doi.org/10.32603/1993-8985-2020-23-6-70-83

Microaccelerometer on Surface Acoustic Waves with a Ring Resonator on Anisotropic Material ; Микроакселерометр на поверхностных акустических волнах с кольцевым резонатором на анизотропном материале

Συγγραφείς: Dmitry P. Lukyanov, Alexander M. Boronakhin, Sergey Yu. Shevchenko, Mariya A. Khivrich, Temurmalik A. Amirov, Д. П. Лукьянов, А. М. Боронахин, С. Ю. Шевченко, М. А. Хиврич, Т. А. Амиров

Πηγή: Journal of the Russian Universities. Radioelectronics; Том 22, № 5 (2019); 116-129 ; Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника; Том 22, № 5 (2019); 116-129 ; 2658-4794 ; 1993-8985

Θεματικοί όροι: анизотропный материал, micromechanical accelerometer, sensitive element, surface acoustic waves, interdigital transducer, anisotropic material, микромеханический акселерометр, чувствительный элемент, поверхностно-акустические волны, встречно-штыревой преобразователь

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://re.eltech.ru/jour/article/view/381/353; https://re.eltech.ru/jour/article/view/381/381; Mounier E., Troadec C., Girardin G. Status of the MEMS industry 2016. Yole Developpement. Market and Technology report. 2016. 5 p.; Mounier E. Status of the MEMS industry 2017. Yole Developpement. Market and Technology report. 2017. 4 p.; Mounier E. Status of the MEMS industry 2018. Yole Developpement. Market and Technology report. 2018. 4 p.; Использование МЭМС-датчиков для решения задач мониторинга состояния рельсового пути / А. М. Боронахин, Д. Ю. Ларионов, Л. Н. Подгорная, А. Н. Ткаченко, Р. В. Шалымов // Изв. Тульского гос. ун-та. Техн. науки. 2017. № 9 (2). С. 111–123.; Сунгуров Д. В., Шалымов Р. В. Инерциальный метод диагностики рельсового пути с учетом состояния поверхностей катания колес вагона // Навигация и управление движением: материалы ХVI конф. молодых ученых / Концерн "ЦНИИ "Электроприбор". СПб., 2014. С. 49–55.; Использование микромеханических чувствительных элементов в задачах диагностики рельсового пути / А. М. Боронахин, Л. Н. Подгорная, Е. Д. Бохман, Н. С. Филипеня, Ю. В. Филатов, Р. В. Шалымов, Д. Ю. Ларионов // Гироскопия и навигация. 2012. № 1 (76). С. 57–66.; Абдуллин Ф. А., Пауткин В. Е. Технологические особенности формирования кремниевых пьезорезистивных акселерометров с расширенным температурным диапазоном измерений // Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль. 2016. № 2. С. 118–123.; Абдуллин Ф. А., Пауткин В. Е., Печерский А. В. Материалы, применяемые при изготовлении микроэлектромеханических систем (МЭМС) // Материалы и технологии XXI в. 2016. С. 131–136.; Багинский И. Л., Косцов Э. Г. Емкостные МЭМСакселерометры сверхвысоких ускорений // Автометрия. 2017. Т. 53, № 3. С. 107–116.; Парфенов Н. М. Аналитические исследования интегральных МЭМС-акселерометров // Нано- и микросистемная техника. 2016. Т. 18, № 2. С. 96–109.; Сысоева С. Автомобильные акселерометры. Ч. 3. Классификация и анализ базовых рабочих принципов // Компоненты и технологии. 2006. № 2. С. 42–49.; Петропавловский Ю. Современные МЭМСпродукты компании AnalogDevices. Ч. 2 // Элементы и компоненты. 2015. № 7. С. 24–29.; Сысоева С. МЭМС-технологии. Простое и доступное решение сложных систематических задач // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2009. № 7. С. 80–89.; Сысоева С. Введение в High-End сегменты применения МЭМС-технологии // Компоненты и технологии. 2010. № 10. С. 15–22.; Одинец А. И., Федорова Л. Д. Датчики МЭМС для управления и диагностирования автомобиля // Омский науч. вестн. 2015. № 2. С. 177–179.; Design of a Piezoelectric Accelerometer with High Sensitivity and Low Transverse Effect / B. Tian, H. Liu, N. Yang, Yu. Zhao, Zh. Jiang // Sensors. 2016. № 16. 1587. doi:10.3390/s16101587; Design Strategy for a New High-G Accelerometer / R. Kuells, S. Nau, Ch. Bohland, M. Salk, K. Thoma // Proc. Sensor. 2013. P. 105–110. doi:10.5162/sensor2013/A5.1; Разработка и оптимизация схемы построения микроакселерометра на поверхностных акустических волнах. Ч. 2 / Д. П. Лукьянов, А. А. Тихонов, Ю. В. Филатов, М. М. Шевелько, А. Г. Поваляев, С. Ю. Шевченко, А. А. Стуров, И. В. Попова, А. М. Лестев, М. А. Лестев, В. В. Новиков, М. С. Вершинин // Гироскопия и навигация. 2007. № 3 (58). С. 62–76.; Biryukov S. V., Martin G., Weihnacht M. Ring waveguide resonator on surface acoustic waves // Appl. phys. lett. 2007. Vol. 90, iss. 13. doi:10.1063/1.2731683; Ring waveguide resonator on surface acoustic waves: First experiments / S. V. Biryukov, H. Schmidt, A. V. Sotnikov, M. Weihnacht, T. Yu. Chemekova, Yu. N. Makarov // J. of applied physics. 2009. Vol. 106, iss. 12. doi:10.1063/1.3272027.; Biryukov S. V., Schmidt H., Weihnacht M. Performance of SAW Ring Waveguide Resonator: 3D FEM and Experiments // 2009 IEEE Int. Ultrasonics Symp. Rome, Italy, 20–23 Sept. 2009. doi:10.1109/ULTSYM.2009. 5441445; Хиврич М. А., Шевченко С. Ю. Моделирование чувствительного элемента микромеханического акселерометра для высокодинамичных объектов методом конечных элементов // Междунар. конф. по мягким вычислениям и измерениям. 2018. Т. 1. С. 615–617.; Хиврич М. А., Кудряшова М. С., Шевченко С. Ю. Анализ чувствительного элемента микромеханического акселерометра на поверхностных акустических волнах // Навигация и управление движением: конф. молодых ученых / Концерн "ЦНИИ "Электроприбор". СПб., 2018. С. 108–112.; Surface-acoustic-wave sensor design for acceleration measurement / S. Shevchenko, A. Kukaev, M. Khivrich, D. Lukyanov // Sensors. 2018. Vol. 18, № 7. art. no. 2301. doi:10.3390/s18072301; Shevchenko S. Yu., Khivrich M. A., Markelov O. A. Ring-shaped sensitive element design for acceleration measurements: overcoming the limitations of angularshaped sensors // Electronics. 2019. Vol. 8, № 2. art. no. 141. doi:10.3390/electronics8020141; https://re.eltech.ru/jour/article/view/381

Διαθεσιμότητα: https://re.eltech.ru/jour/article/view/381
https://doi.org/10.32603/1993-8985-2019-22-5-116-129

PARAMETRIC SYNTHESIS OF THE SMOOTHER OF ACCELEROMETER, WHICH FUNCTIONS IN THE REGIME OF THE AUTO-OSCILLATIONS

Πηγή: Авиакосмическое приборостроение.

Θεματικοί όροι: микромеханический акселерометр, функционирующий в режиме автоколебаний, случайная погрешность измерений, a random error of measurement, параметрический синтез, micromechanical accelerometer, демпфирующее звено, which functions in the regime of auto-oscillations, smoother, parametric synthesis

INVESTIGATION OF RESONANT FREQUENCIES AND OWN FORMS OF VIBRATIONS OF SENSITIVE ELEMENTS OF ACCELEROMETERS ; ИССЛЕДОВАНИЕ РЕЗОНАНСНЫХ ЧАСТОТ И СОБСТВЕННЫХ ФОРМ КОЛЕБАНИЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ АКСЕЛЕРОМЕТРОВ ; ДОСЛІДЖЕННЯ РЕЗОНАНСНИХ ЧАСТОТ ТА ВЛАСНИХ ФОРМ КОЛИВАНЬ ЧУТЛИВИХ ЕЛЕМЕНТІВ АКСЕЛЕРОМЕТРІВ

Συγγραφείς: Dubinets, Vladislav

Πηγή: Bulletin of Kyiv Polytechnic Institute. Series Instrument Making; No. 54(2) (2017); 61-65 ; Вестник Киевского политехнического института. Серия приборостроение; № 54(2) (2017); 61-65 ; Вісник Київського політехнічного інституту. Серія Приладобудування; № 54(2) (2017); 61-65 ; 2663-3450 ; 0321-2211

Θεματικοί όροι: pendulum micromechanical accelerometer, sensitive element, finite element method, frequency of natural oscillations, damping ability, маятниковый микромеханический акселерометр, чувствительный элемент, метод конечных элементов, частота собственных колебаний, демпфирующая способность, мікромеханічні акселерометри, чутливий елемент, метод кінцевих елементів, чутливість, власна частота

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: http://visnykpb.kpi.ua/article/view/119539/114100; http://visnykpb.kpi.ua/article/view/119539

Διαθεσιμότητα: http://visnykpb.kpi.ua/article/view/119539
https://doi.org/10.20535/1970.54(2).2017.119539

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫХ АКСЕЛЕРОМЕТРОВ С РАСШИРЕННЫМ ТЕМПЕРАТУРНЫМ ДИАПАЗОНОМ ИЗМЕРЕНИЙ

Συγγραφείς: АБДУЛЛИН ФАРХАД АНВЯРОВИЧ, ПАУТКИН ВАЛЕРИЙ ЕВГЕНЬЕВИЧ

Θεματικοί όροι: МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР,ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР,ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ,МОНОКРЕМНИЙ,ПОЛИКРЕМНИЙ,ТЕХНОЛОГИЯ МЭМС,MICROMECHANICAL ACCELEROMETER,PIEZORESISTIVE ACCELEROMETER SENSOR,MONOCRISTALL SILICON,POLYSILICON,MEMS TECHNOLOGY

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/tehnologicheskie-osobennosti-formirovaniya-kremnievyh-piezorezistivnyh-akselerometrov-s-rasshirennym-temperaturnym-diapazonom
http://cyberleninka.ru/article_covers/16875855.png

Дослідження резонансних частот та власних форм коливань чутливих елементів акселерометрів

Συγγραφείς: Dubinets, V. I.

Συνεισφορές: ELAKPI

Θεματικοί όροι: метод кінцевих елементів, чувствительный элемент, мікромеханічні акселерометри, finite element method, частота собственных колебаний, чутливий елемент, sensitive element, pendulum micromechanical accelerometer, маятниковый микромеханический акселерометр, власна частота, damping ability, frequency of natural oscillations, метод конечных элементов, чутливість, демпфирующая способность

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/22776

ERROR MODEL AXIAL MICROMECHANICAL ACCELEROMETERS IN VIBRATION ; МОДЕЛЬ ПОГРЕШНОСТИ ОСЕВОГО МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА В УСЛОВИЯХ ВИБРАЦИИ ; МОДЕЛЬ ПОХИБКИ ОСЬОВОГО МІКРОМЕХАНІЧНОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА В УМОВАХ ВІБРАЦІЇ

Συγγραφείς: Myronenko, Pavlo, Demyanenko, Volodymyr, Demyanenko, Tatiana

Πηγή: Bulletin of Kyiv Polytechnic Institute. Series Instrument Making; No. 47(1) (2014); 39-43 ; Вестник Киевского политехнического института. Серия приборостроение; № 47(1) (2014); 39-43 ; Вісник Київського політехнічного інституту. Серія Приладобудування; № 47(1) (2014); 39-43 ; 2663-3450 ; 0321-2211

Θεματικοί όροι: axial micromachined accelerometer, spatial vibration, constant error component of AMA, осевой микромеханический акселерометр, пространственная вибрация, постоянная составляющая погрешности ОМА, осьовий мікромеханічний акселерометр, просторова вібрація, постійна складова похибки ОМА

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: http://visnykpb.kpi.ua/article/view/35554/31732; http://visnykpb.kpi.ua/article/view/35554

Διαθεσιμότητα: http://visnykpb.kpi.ua/article/view/35554
https://doi.org/10.20535/1970.47(1).2014.35554

INVESTIGATION OF CHARACTERISTICS OF THE PLANAR ELASTIC SUSPENSION IN THE DIRECT ACTION AXIAL MICROMECHANICAL ACCELEROMETERS ; ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАНАРНОГО УПРУГОГО ПОДВЕСА ОСЕВОГО МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА ПРЯМОГО ПРЕОБРАЗОВАНИЯ ; ДОСЛІДЖЕННЯ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАНАРНОГО ПРУЖНОГО ПІДВІСУ ОСЬОВОГО МІКРОМЕХАНІЧНОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА ПРЯМОГО ПЕРЕТВОРЕННЯ

Συγγραφείς: Балабанов, Ігор Валерійович, Балабанова, Тетяна Василівна

Πηγή: MECHANICS OF GYROSCOPIC SYSTEMS; No. 27 (2014); 68-77 ; Механика гироскопических систем; № 27 (2014); 68-77 ; Механіка гіроскопічних систем; № 27 (2014); 68-77 ; 2519-2272 ; 0203-3771

Θεματικοί όροι: micromechanical accelerometer, elastic suspension, compliance, stiffness, scale factor, микромеханический акселерометр, упругий подвес, податливость, жесткость, масштабный коэффициент, микромеханічний акселерометр, пружний підвіс, податливість, жорсткість, масштабний коефіцієнт

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://mgsys.kpi.ua/article/view/38037/34195; https://mgsys.kpi.ua/article/view/38037

Διαθεσιμότητα: https://mgsys.kpi.ua/article/view/38037
https://doi.org/10.20535/0203-377127201438037

Технологические особенности формирования кремниевых пьезорезистивных акселерометров с расширенным температурным диапазоном измерений

Πηγή: Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль.

Θεματικοί όροι: МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР,ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР,ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ,МОНОКРЕМНИЙ,ПОЛИКРЕМНИЙ,ТЕХНОЛОГИЯ МЭМС,MICROMECHANICAL ACCELEROMETER,PIEZORESISTIVE ACCELEROMETER SENSOR,MONOCRISTALL SILICON,POLYSILICON,MEMS TECHNOLOGY

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article/n/tehnologicheskie-osobennosti-formirovaniya-kremnievyh-piezorezistivnyh-akselerometrov-s-rasshirennym-temperaturnym-diapazonom
http://cyberleninka.ru/article_covers/16875855.png

МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНАЯ ГИРОСКОПИЧЕСКАЯ СИСТЕМА СТАБИЛИЗАЦИИ НА МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТАХ ДЛЯ БЕСПИЛОТНОГО ЛЕТАТЕЛЬНОГО АППАРАТА

Συγγραφείς: Малютина, М.

Θεματικοί όροι: ГИРОСКОПИЧЕСКАЯ СИСТЕМА СТАБИЛИЗАЦИИ,МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР,МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП,ОПТИКО ЭЛЕКТРОННЫЙ ДАТЧИК

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/mnogofunktsionalnaya-giroskopicheskaya-sistema-stabilizatsii-na-mikromehanicheskih-chuvstvitelnyh-elementah-dlya-bespilotnogo
http://cyberleninka.ru/article_covers/14344406.png

СТРУКТУРНЫЕ РЕШЕНИЯ, ОБЕСПЕЧИВАЮЩИЕ ПОВЫШЕНИЕ ТОЧНОСТИ ГИРОСКОПИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ СТАБИЛИЗАЦИИ НА МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТАХ

Συγγραφείς: Малютин, Д., Малютина, М.

Θεματικοί όροι: ГИРОСКОПИЧЕСКАЯ СИСТЕМА СТАБИЛИЗАЦИИ,МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР,МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/strukturnye-resheniya-obespechivayuschie-povyshenie-tochnosti-giroskopicheskoy-sistemy-stabilizatsii-na-mikromehanicheskih
http://cyberleninka.ru/article_covers/14343051.png

ПРИМЕНЕНИЕ ГЛУБИННЫХ ТРЕХКООРДИНАТНЫХ ДАТЧИКОВ НАКЛОНА ПРИ РЕШЕНИИ ЗАДАЧ ГЕОТЕХНИЧЕСКОГО МОНИТОРИНГА

Συγγραφείς: ПАДЕРИНА ТАТЬЯНА ВЛАДИМИРОВНА, ЯКОВЛЕВ ВЛАДИМИР ВИКТОРОВИЧ, ГОРДЕЕВ ЮРИЙ МИХАЙЛОВИЧ

Θεματικοί όροι: ГЕОТЕХНИЧЕСКИЙ МОНИТОРИНГ,GEOTECHNICAL MONITORING,МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР,MICROMECHANICAL ACCELEROMETER,ТРЕХКООРДИНАТНЫЙ ДАТЧИК НАКЛОНА,THREE-COORDINATE TILT SENSOR

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/primenenie-glubinnyh-trehkoordinatnyh-datchikov-naklona-pri-reshenii-zadach-geotehnicheskogo-monitoringa
http://cyberleninka.ru/article_covers/16406233.png

ДАТЧИКИ КРЕНА ДЛЯ ГРУЗОВЫХ МАШИН

Συγγραφείς: КОВШОВ Г. Н., САДОВНИКОВА А. В., ЖИВЦОВА Л. И.

Θεματικοί όροι: ДАТЧИКИ КРЕНА, МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР, МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ, УГОЛ ОТКЛОНЕНИЯ ОТ ВЕРТИКАЛИ, ОСИ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ДАТЧИКА, ДАТЧИКИ КРЕНУ, МіКРОМЕХАНіЧНИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР, МАТЕМАТИЧНА МОДЕЛЬ, КУТ ВіДХИЛЕННЯ ВіД ВЕРТИКАЛі, ВіСі ЧУТЛИВОСТі ДАТЧИКА

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/datchiki-krena-dlya-gruzovyh-mashin
http://cyberleninka.ru/article_covers/15919206.png

INVESTIGATION OF CHARACTERISTICS OF THE PLANAR ELASTIC SUSPENSION IN THE DIRECT ACTION AXIAL MICROMECHANICAL ACCELEROMETERS

Πηγή: MECHANICS OF GYROSCOPIC SYSTEMS; No. 27 (2014); 68-77
Механика гироскопических систем; № 27 (2014); 68-77
Механіка гіроскопічних систем; № 27 (2014); 68-77

Θεματικοί όροι: elastic suspension, микромеханический акселерометр, упругий подвес, податливість, 02 engineering and technology, пружний підвіс, compliance, stiffness, 0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering, жорсткість, микромеханічний акселерометр, micromechanical accelerometer, scale factor, масштабный коэффициент, масштабний коефіцієнт, жесткость, податливость

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://mgsys.kpi.ua/article/view/38037

Модель погрешности осевого микромеханического акселерометра в условиях вибрации

Συγγραφείς: Myronenko, P., Demyanenko, T., Demyanenko, V.

Συνεισφορές: ELAKPI

Θεματικοί όροι: осевой микромеханический акселерометр, просторова вібрація, постоянная составляющая погрешности ОМА, осьовий мікромеханічний акселерометр, axial micromachined accelerometer, постійна складова похибки ОМА, пространственная вибрация, constant error component of AMA, spatial vibration

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/8177

Исследование характеристик планарного упругого подвеса осевого микромеханического акселерометра прямого преобразования

Συγγραφείς: Balabanov, I. V., Balabanova, T. V.

Συνεισφορές: ELAKPI

Θεματικοί όροι: микромеханический акселерометр, elastic suspension, упругий подвес, податливість, пружний підвіс, compliance, stiffness, жорсткість, мікромеханічний акселерометр, micromechanical accelerometer, масштабный коэффициент, масштабний коефіцієнт, scale factor, жесткость, податливость

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/17312

Многофункциональная гироскопическая система стабилизации на микромеханических чувствительных элементах для беспилотного летательного аппарата

Πηγή: Известия Тульского государственного университета. Технические науки.

Θεματικοί όροι: ГИРОСКОПИЧЕСКАЯ СИСТЕМА СТАБИЛИЗАЦИИ,МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР,МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП,ОПТИКО ЭЛЕКТРОННЫЙ ДАТЧИК

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article/n/mnogofunktsionalnaya-giroskopicheskaya-sistema-stabilizatsii-na-mikromehanicheskih-chuvstvitelnyh-elementah-dlya-bespilotnogo
http://cyberleninka.ru/article_covers/14344406.png