Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении металлосодержащего покрытия в условиях самооблучения

Subject Terms: ионы титана, физика, условия самооблучения, резерфордовский метод, металлосодержащие покрытия, повреждение структуры кремния

File Description: application/pdf

Access URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/64701

COMPOSITION AND STRUCTURE OF THIN METAL FILMS DEPOSITED ON SOLID AND NONRIGID MATERIALS

Authors: Tashlykov, I. S., Baraishuk, Sergey Mikhailovich, Veres, O. G.

Source: Physics, Chemistry and Application of Nanostructures. :503-506

Subject Terms: ion-beam-assisted deposition, thin films, metal-containing coatings, тонкие пленки, ионно-лучевое осаждение, rutherford backscattering, металлосодержащие покрытия, резерфордовское обратное рассеяние

File Description: application/pdf

Access URL: http://rep.bsatu.by/handle/doc/12875
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12875

Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Mo

Subject Terms: элементный состав, метод ионно-ассистированного осаждения, модуль Юнга, компьютерное моделирование, покрытия, металлосодержащие покрытия, резерфордовское обратное рассеяние, кремний

File Description: application/pdf

Access URL: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12130

Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок

Subject Terms: тонкие пленки, ионно-ассистированное нанесение покрытий, металлосодержащие покрытия, кремний

File Description: application/pdf

Access URL: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102

Изучение ядерно-физическими методами металлосодержащих (Ti, Co)-покрытий, осажденных методом ионного ассистирования на кремний

Subject Terms: ядерно-физические методы, метод ионно-ассистированного осаждения, покрытия, металлосодержащие покрытия, кремний

File Description: application/pdf

Access URL: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12131

Элементны склад паверхні крэмнію, мадыфікаванага асаджэннем пакрыцця на аснове малібдэну

Subject Terms: ионы гелия, метод резерфордовского обратного рассеяния, нанесение покрытий, молибден, программа RUMP, ионно-ассистированное нанесение покрытий, металлосодержащие покрытия, кремний

File Description: application/pdf

Access URL: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12871

Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном осаждении металлопокрытий

Subject Terms: дефектообразование, тонкие пленки, ионно-ассистированные осаждения, металлосодержащие покрытия, кремний, металлопокрытия

File Description: application/pdf

Access URL: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12873

Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Mo

Authors: Тульев, Валентин Валентинович, Ташлыков, Игорь Серафимович, Барайшук, Сергей Михайлович

Subject Terms: металлосодержащие покрытия, метод ионно-ассистированного осаждения, кремний, элементный состав, компьютерное моделирование, модуль Юнга, резерфордовское обратное рассеяние, покрытия

File Description: application/pdf

Relation: Труды БГТУ. Серия VI. Физико-математические науки и информатика; https://rep.bsatu.by/handle/doc/12130; 539.1.06:539.23.234

Availability: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12130

Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок ; Composition and damage of silicon surface at ion assisted deposition of thin films

Authors: Ташлыков, Игорь Серафимович, Бобрович, Олег Георгиевич, Барайшук, Сергей Михайлович, Михалкович, Олег Михайлович, Антонович, Игорь

Subject Terms: тонкие пленки, кремний, ионно-ассистированное нанесение покрытий, металлосодержащие покрытия

File Description: application/pdf

Relation: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102; 539.211:539.1.06

Availability: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102

Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении металлосодержащего покрытия в условиях самооблучения

Authors: Бобрович, Олег Георгиевич, Ташлыков, Игорь Серафимович, Михалкович, О. М.

Subject Terms: металлосодержащие покрытия, условия самооблучения, резерфордовский метод, ионы титана, повреждение структуры кремния, физика

File Description: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/64701; 539.211:539.23

Availability: https://elib.belstu.by/handle/123456789/64701

Изучение ядерно-физическими методами металлосодержащих (Ti, Co)-покрытий, осажденных методом ионного ассистирования на кремний

Authors: Бобрович, Олег Георгиевич, Ташлыков, Игорь Серафимович, Тульев, Валентин Валентинович, Барайшук, Сергей Михайлович

Subject Terms: металлосодержащие покрытия, метод ионно-ассистированного осаждения, кремний, ядерно-физические методы, покрытия

File Description: application/pdf

Relation: Физика и xимия обработки материалов; https://rep.bsatu.by/handle/doc/12131; 539.1.06:539.23.234

Availability: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12131

Элементны склад паверхні крэмнію, мадыфікаванага асаджэннем пакрыцця на аснове малібдэну

Authors: Барайшук, Сяргей Міхайлавіч, Ташлыкоў, Ігар Серафімавіч, Барайшук, Сергей Михайлович, Ташлыков, Игорь Серафимович

Subject Terms: кремний, металлосодержащие покрытия, метод резерфордовского обратного рассеяния, ионно-ассистированное нанесение покрытий, программа RUMP, ионы гелия, нанесение покрытий, молибден

File Description: application/pdf

Relation: Becці БДПУ; https://rep.bsatu.by/handle/doc/12871; 539.2

Availability: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12871

Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном осаждении металлопокрытий

Authors: Бобрович, Олег Георгиевич, Ташлыков, Игорь Серафимович, Барайшук, Сергей Михайлович

Subject Terms: дефектообразование, ионно-ассистированные осаждения, металлосодержащие покрытия, кремний, металлопокрытия, тонкие пленки

File Description: application/pdf

Relation: Вузовская наука, промышленность, международное сотрудничество : сборник научных трудов V Международной научно-практической конференции, Минск, 13-15 октября 2004 г.; https://rep.bsatu.by/handle/doc/12873; 544.022

Availability: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12873