-
1Report
Authors: Рахимов, Кирилл Александрович
Contributors: Сиделёв, Дмитрий Владимирович
Subject Terms: оксид индия, легированный оловом, прозрачный прводящий оксид, магнетронная распылительная система, отжиг, indium oxide, tin-doped, transparent conductive oxide, magnetron sputtering system, annealing, 16.04.01, 621.793.1:539.216.2:621.385.64
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/71814
-
2Academic Journal
Authors: Захаров, Александр Николаевич, Павлов, Артем Павлович, Работкин, Сергей Викторович, Семенов, Вячеслав Аркадьевич, Оскирко, Владимир Олегович
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 7. С. 89-96
Subject Terms: дуальная магнетронная распылительная система, реактивное магнетронное распыление, пакетно-импульсное магнетронное распыление высокой мощности, сильноточное импульсное магнетронное распыление
File Description: application/pdf
Relation: vtls:000674387; https://openrepository.ru/article?id=331394
-
3Report
Authors: Андреева, Марина Андреевна
Contributors: Юрьев, Юрий Николаевич
Subject Terms: оксид титана, фотокаталитическая активность, магнетронная распылительная система, тонкие плёнки, температура отжига, titanium oxide films, magnetron sputtering system, annealing temperature, photocatalytic characteristics, optical characteristics, 16.04.01, 669.295.097:539.216.2:621.385.64
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54723
-
4Report
Authors: Торломоев, Алексей Эженович
Contributors: Юрьева, Алёна Викторовна
Subject Terms: свойства медных покрытий, тонкие медные пленки, магнетронная распылительная система с жидкой мишенью, шероховатость, электропроводимость, микроструктура, properties of copper coatings, thin copper films, magnetron sputtering system with a liquid target, roughness, electrical conductivity, microstructure, 03.04.02, 669.33:621.793.7:621.385.64
File Description: application/pdf
Relation: Торломоев А. Э. Исследование свойств медных покрытий, полученных в режиме самораспыление при работе магнетрона с испаряющейся мишенью : магистерская диссертация / А. Э. Торломоев; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Отделение экспериментальной физики (ОЭФ); науч. рук. А. В. Юрьева. — Томск, 2019.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54126
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54126
-
5
-
6Report
Authors: Николаев, Михаил Вячеславович
Contributors: Юрьева, Алёна Викторовна
Subject Terms: жидкофазная магнетронная распылительная система, скорость осаждения, электропроводящие покрытия, структурные свойства, медные покрытия, liquid-phase magnetron sputtering system, depostion rate, electroconductive coatings, structural properties, copper coatings, 16.04.01, 621.793.1:669.3:621.385.64
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48571
-
7Report
Authors: Загузин, Илья Юрьевич
Contributors: Мышкин, Вячеслав Федорович
Subject Terms: магнетронный разряд, магнетронная распылительная система, магнитное поле, низкотемпературная плазма, индексы Миллера, magnetron discharge, magnetron sputtering system, magnetic field, low-temperature plasma, Miller indexes, 14.03.02, 621.793.7:539.23:621.385.64:533.9
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48235
-
8Academic Journal
-
9Report
Authors: Теменков, Владимир Сергеевич
Contributors: Умнов, Сергей Павлович
Subject Terms: магнетронная распылительная система, ионный пучок, оксид олова, коэффициент пропускания, поверхностное сопротивление, ренгенофазный состав, прозрачный проводящий оксид, tin oxide, ion beam, transmittance, surface resistance, transparent conductive oxide, X-ray Diffraction, 16.04.01, 539.216:669.6:661.88:546.29
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39792
-
10Report
Authors: Мутали, Меруерт Нуржанкызы
Contributors: Юрьева, Алена Викторовна
Subject Terms: магнетронная распылительная система, жидкофазная мишень, высокоскоростное осаждение покрытий, медные покрытия, свойства тонких плёнок, magnetron sputtering systems, liquid-phase target, high-rate coating deposition, copper coatings, properties of thin films, 16.04.01, 621.793.7:669.3
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39405
-
11Report
Authors: Петраков, Юрий Вячеславович
Contributors: Юрьев, Юрий Николаевич
Subject Terms: магнетронная распылительная система (МРС), планарный магнетрон, нитрид кремния (Si3N4), ИК-Фурье спектроскопия, показатель преломления, magnetron sputtering system, planar magnetron, silicon nitride (Si3N4), FT-IR spectroscopy, refractive index, 03.03.02, 539.23:661.68.065:621.385.64:533.9
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39344
-
12Report
Authors: Елгин, Юрий Игоревич
Contributors: Гренадёров, Александр Сергеевич
Subject Terms: алмазоподообные углеродные, углерод, покрытия, магнетронная распылительная система, твердость, тонкие пленки, diamond-like carbon, carbon, coatings, magnetron sputtering system, hardness, thin films, 16.03.01, 539.216.2:666.23:621.23
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/39004
-
13Report
Authors: Андреева, Марина Андреевна
Contributors: Юрьев, Юрий Николаевич
Subject Terms: оксид титана, магнетронная распылительная система, фотокаталитическая активность, реактивное магнетронное распыление, оптические свойства, optical properties, titanium oxide, photocatalytic activity, magnetron sputtering system, reactive magnetron sputteting, 16.03.01, 539.216.2:661.882:621.793.1
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/38608
-
14Report
Authors: Николаев, Михаил Вячеславович
Contributors: Юрьева, Алена Викторовна
Subject Terms: Осаждение, Магнетронное распыление, Параметры плазмы, Медные покрытия, Жидкофазная магнетронная распылительная система, Copper coatings, Magnetron sputtering system with liquid phase target, Plasma parameters, Deposition, Magnetron sputtering, 16.03.01, 539.216.2-047.37:533.915
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30458
-
15Report
Authors: Кушебина, Айгерим Казбековна
Contributors: Юрьева, Алена Викторовна
Subject Terms: свойства пленок, тонкопленочные покрытия, магнетронная распылительная система, алюминиевые покрытия, жидкофазная мишень, film properties, aluminum coating, thin-film coating, magnetron sputtering system, liquid-phase target, 03.03.02, 533.9.07
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/29904
-
16Report
Authors: Зайцев, Данила Александрович
Contributors: Юрьев, Юрий Николаевич
Subject Terms: Углеродное покрытие, Магнетронная распылительная система, Механические свойства, Возникновение пробоев, Аморфная структура, Carbon coatings, Magnetron sputtering system, Mechanical properties, Breakdowns on the carbon target, Amorphous structure, 16.04.01, 538.975
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/29796
-
17Report
Authors: Оскирко, Алёна Викторовна
Contributors: Соловьев, Андрей Александрович
Subject Terms: магнетронная распылительная система, сильноточное импульсное магнетронное распыление, ультратонкие пленки, разряд, плазма, Magnetron-Zerstäubungssystem, Intense Pulsed Magnetron-Sputtern, ultra-dünnen Filmen, Kupfer, Plasma, 11.04.04, 621.793.7:539.23:546.56
File Description: application/pdf
Relation: Оскирко А. В. Напыление ультратонких пленок меди методом импульсного магнетронного напыления : дипломный проект / А. В. Оскирко; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Институт физики высоких технологий (ИФВТ), Кафедра высоковольтной электрофизики и сильноточной электроники (ВЭСЭ); науч. рук. А. А. Соловьев. — Томск, 2016.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/27282
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/27282
-
18Academic Journal
Source: Вестник Иркутского государственного технического университета.
File Description: text/html
-
19Academic Journal
Authors: Зимин, А., Шарапов, В., Кривицкий, С., Куликаускас, В.
Subject Terms: НАКОПЛЕНИЕ ДЕЙТЕРИЯ В ВОЛЬФРАМЕ,СООСАЖДЕННЫЕ ПЛЕНКИ,ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ,МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА
File Description: text/html
-
20Academic Journal
Authors: СОЧУГОВ Н.С., БАТРАКОВ А.В.
Subject Terms: ТВЕРДООКСИДНЫЙ ТОПЛИВНЫЙ ЭЛЕМЕНТ, ЭЛЕКТРОННЫЙ ПУЧОК, МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА
File Description: text/html
