Современные проблемы микро- и наноэлектроники

Συνεισφορές: Сибирский федеральный университет, Институт инженерной физики и радиоэлектроники

Θεματικοί όροι: НАНОКОМПОЗИТНЫЕ СТРУКТУРЫ, 621.38.049.77(07), гетероструктуры, технологии микрообработки, микрообработка, полупроводники органические, алмазные пленки, кремниевые низкоразмерные структуры, полупроводниковые материалы, монокристаллы, композиционные материалы, структуры 'кремний на изоляторе', органические полупроводники

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://openrepository.ru/article?id=456062

Современные проблемы микро- и наноэлектроники

Συγγραφείς: Шелованова, Галина Николаевна

Συνεισφορές: Сибирский федеральный университет, Институт инженерной физики и радиоэлектроники

Θεματικοί όροι: полупроводниковые материалы, композиционные материалы, кремниевые низкоразмерные структуры, монокристаллы, гетероструктуры, структуры "кремний на изоляторе", микрообработка, технологии микрообработки, алмазные пленки, органические полупроводники, полупроводники органические, НАНОКОМПОЗИТНЫЕ СТРУКТУРЫ, 621.38.049.77(07)

Relation: http://Lib3.sfu-kras.ru/ft/LIB2/ELIB/u621/i-240580.pdf; https://openrepository.ru/article?id=456062

Διαθεσιμότητα: https://openrepository.ru/article?id=456062