-
1Academic Journal
Συγγραφείς: M. A. Sorvina, A. S. Kukaev, М. А. Сорвина, А. С. Кукаев
Συνεισφορές: The work was carried out with financial support from the Russian Science Foundation within the framework of the Russian Science Foundation grant 23-79-10259 in the form of subsidies in the field of scientific and scientific-technical activities., Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда в рамках гранта РНФ 23-79-10259 в форме субсидий в сфере научной и научно-технической деятельности.
Πηγή: Journal of the Russian Universities. Radioelectronics; Том 27, № 4 (2024); 81-90 ; Известия высших учебных заведений России. Радиоэлектроника; Том 27, № 4 (2024); 81-90 ; 2658-4794 ; 1993-8985
Θεματικοί όροι: концентрическая топология, sensing element, surface acoustic waves, connection methods, concentric topology, чувствительный элемент, поверхностные акустические волны, методы подключения
Περιγραφή αρχείου: application/pdf
Relation: https://re.eltech.ru/jour/article/view/916/785; Marek J. MEMS for automotive and consumer electronics // IEEE Intern. Solid-State Circuits Conf. (ISSCC), Francisco, USA, 07–11 Feb. 2010. IEEE, 2010. doi:10.1109/ISSCC.2010.5434066; Khorgade M. P., Gaidhane A. Applications of MEMS in Robotics and BioMEMS // UkSim 13th Intern. Conf., Cambridge, UK, 30 March–01 Apr. 2011. IEEE, 2011. doi:10.1109/UKSIM.2011.106; Panescu D. MEMS in medicine and biology // IEEE Engineering in Medicine and Biology Magazine. 2006. Vol. 25, iss. 5. P. 19–28. doi:10.1109/MEMB.2006.1705742; Application of MEMS accelerometer to geophysics / Takao Aizawa, Toshinori Kimura, Toshifumi Matsuoka, Tetsuya Takeda, Youichi Asano // Intern. J. of the JCRM. 2009. Vol. 4, iss. 2. P. 33–36. doi:10.11187/ijjcrm.4.33; MEMS Sensors for Automotive Applications: A Review / G. Bhatt, K. Manoharan, P. S. Chauhan, Sh. Bhattacharya // Sensors for Automotive and Aerospace Applications. Springer, Singapore, 2019. P. 223– 229. doi:10.1007/978-981-13-3290-6_12; Пешехонов В. Г. Перспективы развития гироскопии // Гироскопия и навигация. 2020. Т. 28, № 2 (109). С. 3–10. doi:10.17285/0869-7035.0028; Классификация акселерометров и сферы применения. URL: https://inelso.ru/library/statyi/klassifikatsiya-akselerometrov-i-sfery-primeneniya/ (дата обращения 14.02.2024); Лукьянов Д. П., Лучинин В. В., Скворцов В. Ю. Микроакселерометр на поверхностных акустических волнах // Микросистемная техника. 2001. № 2. С. 3–7.; Micro rate gyroscopes based on surface acoustic waves / D. Lukyanov, S. Shevchenko, A. Kukaev, A. Ivanov, R. Telichkin // NORCHIP. Tampere, Finland, 27–28 Oct. 2014. IEEE, 2014. doi:10.1109/NORCHIP.2014.7004702; Structural Design of MEMS Acceleration Sensor Based on PZT Plate Capacitance Detection / Min Cui, Senhui Chuai, Yong Huang, Yang Liu, Jian Li // Micromachines. 2023. Vol. 14, iss. 8. P. 1565. doi:10.3390/mi14081565; Балышева О. Л. Акустоэлектронная компонентная база // Журн. радиоэлектроники. 2014. № 6. С. 1–28.; Секреты высокой точности. URL: https://topwar.ru/78855-sekrety-vysokoy-tochnosti.html (дата обращения 14.02.2024); Никонова Г. С., Аржанов В. А. Исследование характеристик генераторов на поверхностных акустических волнах // Омский науч. вестн. 2012. № 3. С. 331–334.; Шевченко С. Ю., Михайленко Д. А., Ньямверу Б. Оптимизация конструкции встречноштыревого преобразователя кольцевого резонатора на поверхностных акустических волнах // Изв. вузов России. Радиоэлектроника. 2021. Т. 24, № 6. С. 51–62. doi:10.32603/1993-8985-2021-24-6-51-62; Шевченко С. Ю., Михайленко Д. А. Оптимальный габаритный параметр кольцевого резонатора на поверхностных акустических волнах // Изв. вузов России. Радиоэлектроника. 2023. Т. 26, № 2. С. 89–100. doi:10.32603/1993-8985-2023-26-2-89-100; Сорвина М. А. Исследование концентрической топологии для применения в чувствительных элементах инерциальных датчиков на поверхностных акустических волнах // ХXIV конф. молодых ученых "Навигация и управление движением", Санкт-Петербург, 15–18 марта 2022 г. С. 217–219.; Sorvina M. A. Concentric Topology for Sensitive Elements of Surface Acoustic Wave Devices // Seminar on Microelectronics, Dielectrics and Plasmas (MDP), St Petersburg, Russia, 20 Nov. 2023. IEEE, 2023. doi:10.1109/MDP60436.2023.10424262; https://re.eltech.ru/jour/article/view/916