Разработка методов формирования и контроля заданного распределения толщины фоторезиста при изготовлении конформальных корректоров

Συγγραφείς: Корольков Виктор Павлович, Конченко Александр Сергеевич, Черкашин Вадим Владимирович, Миронников Николай Геннадиевич

Θεματικοί όροι: зеркальная спектроскопическая рефлектометрия, безмасочная фотолитография, конформальные корректоры, измерение толщины тонких пленок, профилометрия

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/razrabotka-metodov-formirovaniya-i-kontrolya-zadannogo-raspredeleniya-tolschiny-fotorezista-pri-izgotovlenii-konformalnyh
http://cyberleninka.ru/article_covers/16880580.png

Разработка методов формирования и контроля заданного распределения толщины фоторезиста при изготовлении конформальных корректоров

Πηγή: Компьютерная оптика.

Θεματικοί όροι: зеркальная спектроскопическая рефлектометрия, безмасочная фотолитография, конформальные корректоры, измерение толщины тонких пленок, профилометрия

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article/n/razrabotka-metodov-formirovaniya-i-kontrolya-zadannogo-raspredeleniya-tolschiny-fotorezista-pri-izgotovlenii-konformalnyh
http://cyberleninka.ru/article_covers/16880580.png