Изучение структуры излучающая пленка на основе MoSi2 на кремниевой подложке для формирования тонкопленочного ИК-излучателя газоанализатора

Θεματικοί όροι: структура излучающей пленки, тонкопленочные ИК-излучатели, плазменное напыление, тонкие пленки, композиционные покрытия MoSi2, сенсоры, газоанализаторы

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://rep.bsatu.by/handle/doc/20043

Изучение структуры излучающая пленка на основе MoSi2 на кремниевой подложке для формирования тонкопленочного ИК-излучателя газоанализатора

Θεματικοί όροι: структура излучающей пленки, тонкопленочные ИК-излучатели, плазменное напыление, тонкие пленки, композиционные покрытия MoSi2, сенсоры, газоанализаторы, структура поверхности

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://rep.bsatu.by/handle/doc/20044