Ion-plasma systems with combined electrical and magnetic fields for micro- and nanotechnologies ; Ионно-плазменные системы с комбинированными электрическим и магнитным полями для микро- и нанотехнологий ; Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій

Authors: Азарєнков, М. О., Дудін, С. В., Зиков, О. В., Фаренік, В. І., Яковін, С. Д.

Contributors: Міністерство освіти і науки України

Source: Физическая инженерия поверхности; Том 2, № 2-3 (2017): Журнал фізики та інженерії поверхні; 119 - 142 ; Фізична інженерія поверхні; Том 2, № 2-3 (2017): Журнал фізики та інженерії поверхні; 119 - 142 ; 1999-8112 ; 1999-8074

Subject Terms: gas discharge, ion-plasma systems, magnetron sputtering, nanoelectronics, lowtemperature plasma, crossed EH fields, газовый разряд, ионно-плазменные системы, магнетронное распыление, наноэлектроника, низкотемпературная плазма, скрещенные EH поля, газовий розряд, іонно-плазмові системи, магнетронне розпорошення, наноелектроніки, низькотемпературна плазма, схрещені EH поля

File Description: application/pdf

Relation: http://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/9575/9089; http://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/9575

Availability: http://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/9575

Квазірівноважна конденсація титану в накопичувальних іонно-плазмових системах

Authors: Kosminska, Yuliia Oleksandrivna, Perekrestov, Viacheslav Ivanovych, Korniushchenko, Hanna Serhiivna

Subject Terms: конденсація, condensation, ионно-плазменные системы, конденсация, ion-plasma system, іонно-плазмові системи

File Description: application/pdf

Access URL: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43796

Самоорганизация квазиравновесной стационарной конденсации в накопительных ионно-плазменных системах

Authors: Kosminska, Yuliia Oleksandrivna, Perekrestov, Viacheslav Ivanovych, Korniushchenko, Hanna Serhiivna

Subject Terms: ионно-плазменные системы, процессы конденсации, ion-plasma system, processes of condensation, іонно-плазмові системи, процеси конденсації

File Description: application/pdf

Access URL: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3891

Квазірівноважна конденсація титану в накопичувальних іонно-плазмових системах

Authors: Космінська, Юлія Олександрівна, Косминская, Юлия Александровна, Kosminska, Yuliia Oleksandrivna, Перекрестов, Вячеслав Іванович, Перекрестов, Вячеслав Иванович, Perekrestov, Viacheslav Ivanovych, Корнющенко, Ганна Сергіївна, Корнющенко, Анна Сергеевна, Korniushchenko, Hanna Serhiivna, Мисенко, А.О.

Subject Terms: конденсація, конденсация, condensation, іонно-плазмові системи, ионно-плазменные системы, ion-plasma system

File Description: application/pdf

Relation: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43796

Availability: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43796

Самоорганизация квазиравновесной стационарной конденсации в накопительных ионно-плазменных системах

Authors: Косминская, Юлия Александровна, Космінська, Юлія Олександрівна, Kosminska, Yuliia Oleksandrivna, Перекрестов, Вячеслав Иванович, Перекрестов, Вячеслав Іванович, Perekrestov, Viacheslav Ivanovych, Корнющенко, Анна Сергеевна, Корнющенко, Ганна Сергіївна, Korniushchenko, Hanna Serhiivna

Subject Terms: ионно-плазменные системы, процессы конденсации, іонно-плазмові системи, процеси конденсації, ion-plasma system, processes of condensation

File Description: application/pdf

Relation: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3891

Availability: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3891