Электрохимическое формирование композитных катодов-мишеней для вакуумного напыления

Subject Terms: композиционные покрытия Ni-УДА, катоды-мишени, ионно-плазменное MoN покрытие, электролиты матового никелирования, композитные катоды-мишени, вакуумное напыление, ионно-лучевое распыление

File Description: application/pdf

Access URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/41762

Электрохимическое формирование композитных катодов-мишеней для вакуумного напыления

Authors: Жилинский, Валерий Викторович, Чаевский, Вадим Витальевич, Филипович, Т. Н.

Subject Terms: композитные катоды-мишени, катоды-мишени, вакуумное напыление, электролиты матового никелирования, композиционные покрытия Ni-УДА, ионно-плазменное MoN покрытие, ионно-лучевое распыление

File Description: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/41762; 674.055:621.934(043.3)

Availability: https://elib.belstu.by/handle/123456789/41762