Модификация поверхности твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе эффекта полого катода

Subject Terms: плазма тлеющего разряда, полый катод, материалы конференций, ионно-плазменная модификация, твердые тела

Access URL: https://openrepository.ru/article?id=211659

Модификация поверхности твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе эффекта полого катода

Authors: Козак, Н. В.

Subject Terms: материалы конференций, ионно-плазменная модификация, твердые тела, плазма тлеющего разряда, полый катод

Relation: https://openrepository.ru/article?id=211659

Availability: https://openrepository.ru/article?id=211659

Модификация поверхности твердых тел в плазме тлеющего разряда на основе эффекта полого катода

Authors: Козак, Н. В.

Index Terms: материалы конференций, ионно-плазменная модификация, твердые тела, плазма тлеющего разряда, полый катод, Article

URL: http://hdl.handle.net/rour/211659uri