Композиционный состав и дефектообразование в кремнии с имплантированным маркером Хе при нанесении титана в условиях ионного ассистирования

Θεματικοί όροι: дефектообразование, имплантированные маркеры Хе, микроэлектроника, каналирование, Хе-маркеры, компьютерное моделирование, ионно-ассистированные нанесения покрытий, резерфордовское обратное рассеяние, кремний

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://elib.belstu.by/handle/123456789/36296

Композиционный состав и дефектообразование в кремнии с имплантированным маркером Хе при нанесении титана в условиях ионного ассистирования

Συγγραφείς: Бобрович, Олег Георгиевич

Θεματικοί όροι: кремний, дефектообразование, имплантированные маркеры Хе, Хе-маркеры, ионно-ассистированные нанесения покрытий, микроэлектроника, резерфордовское обратное рассеяние, каналирование, компьютерное моделирование

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/36296; 539.211:539.1.06

Διαθεσιμότητα: https://elib.belstu.by/handle/123456789/36296