Диагностика поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок

Θεματικοί όροι: тонкие пленки, композиционный состав поверхности, ионно-ассистированное нанесение покрытий в условиях самооблучения, топография поверхности, повреждение структуры кремния, кремний

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12529

Диагностика поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок

Συγγραφείς: Ташлыков, Игорь Серафимович, Барайшук, Сергей Михайлович, Михалкович, Олег Михайлович

Θεματικοί όροι: кремний, тонкие пленки, ионно-ассистированное нанесение покрытий в условиях самооблучения, композиционный состав поверхности, повреждение структуры кремния, топография поверхности

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: БГУ; https://rep.bsatu.by/handle/doc/12529; 539.23.234

Διαθεσιμότητα: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12529