Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.20

Authors: Бумагина, Анна Ивановна

Contributors: Рябчиков, Александр Ильич

Subject Terms: Электрический разряд в газах, диссертации, макрочастицы, вакуумные дуги, импульсно-периодический потенциал, смещение, фракции, плазма, высокочастотные генераторы, поверхности, мишени, 01.04.20

File Description: application/pdf

Relation: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30531

Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30531

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.20

Authors: Бумагина, Анна Ивановна

Contributors: Рябчиков, Александр Ильич

Subject Terms: Электрический разряд, авторефераты диссертаций, физика, вакуумные дуги, импульсно-периодический потенциал, мишени, смещения, плазма, фильтрация, ионно-плазменное осаждение, покрытия, ионно-плазменная обработка, металлы, имплантация, вакуумно-дуговая плазма, микрокапельная фракция, 01.04.20

File Description: application/pdf

Relation: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/7193

Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/7193

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.20

Contributors: Рябчиков, Александр Ильич

Subject Terms: плазма, Электрический разряд в газах, поверхности, 01.04.20, высокочастотные генераторы, импульсно-периодический потенциал, вакуумные дуги, фракции, диссертации, смещение, макрочастицы, мишени

File Description: application/pdf

Access URL: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30531

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук: спец. 01.04.20

Contributors: Рябчиков, Александр Ильич

Subject Terms: имплантация, микрокапельная фракция, физика, Электрический разряд, ионно-плазменная обработка, вакуумные дуги, фильтрация, вакуумно-дуговая плазма, плазма, 01.04.20, импульсно-периодический потенциал, смещения, ионно-плазменное осаждение, авторефераты диссертаций, металлы, покрытия, мишени

File Description: application/pdf

Access URL: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/7193