Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: спец. 01.04.20

Συγγραφείς: Степанов, Игорь Борисович

Θεματικοί όροι: Электронно-ионная технология, авторефераты диссертаций, материалы, импульсно-периодическая ионная обработка, ионно-плазменная обработка, ионно-лучевая обработка, методы, оборудование, плазма, очистка, вакуумно-дуговой разряд, ионы, источники, исследование, разработка, вакуумная дуга, покрытия, осаждение, ионная имплантация, комбинированные технологии, 01.04.20

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6615

Διαθεσιμότητα: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6615

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: спец. 01.04.20

Θεματικοί όροι: ионная имплантация, импульсно-периодическая ионная обработка, очистка, ионно-плазменная обработка, разработка, комбинированные технологии, вакуумная дуга, методы, оборудование, плазма, ионы, источники, осаждение, 01.04.20, авторефераты диссертаций, материалы, ионно-лучевая обработка, Электронно-ионная технология, исследование, покрытия, вакуумно-дуговой разряд

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6615