Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий

Subject Terms: плазма, магнетронные распылительные системы, магнетроны, жидкометаллические мишени, функциональные покрытия, металлические покрытия, высокоскоростное осаждение, эрозия

File Description: application/pdf

Access URL: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64631

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий ; Analysis of the capabilities of magnetron sputtering systems for high-rate deposition of functional coatings

Authors: Блейхер, Галина Алексеевна, Кривобоков, Валерий Павлович, Юрьева, Алена Викторовна

Subject Terms: магнетронные распылительные системы, высокоскоростное осаждение, функциональные покрытия, эрозия, жидкометаллические мишени, плазма, металлические покрытия, магнетроны

File Description: application/pdf

Relation: Современные технологии, экономика и образование : сборник материалов II Всероссийской научно-методической конференции, г. Томск, 2-4 сентября 2020 г.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64631

Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64631